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using plasma etching
Vertaling van "using plasma etching" in Duits
durch Plasmaätzen
Process of manufacturing polysilicon structures having 1 micron dimensions on silicon substrates comprising integrated circuits using plasma etching.
Verfahren zum Herstellen von Polysiliziumstrukturen im 1/um-Bereich auf integrierte Halbleiterschaltungen enthaltenden Substraten durch Plasmaätzen.
First, ridge waveguides on X(Y)-cut LiNbO3 substrates are fabricated using plasma etching and a subsequent Ti in-diffusion.
Zuerst werden Rippenwellenleiter auf X (Y)-Schnitt-Substrate des LiNbO3 unter Verwendung der Plasmaradierung und einer folgenden Ti In-Diffusion fabriziert.
FABRICATION OF MICROMINIATURE DEVICES USING PLASMA ETCHING OF SILICON WITH FLUORINE-CONTAINING GASEOUS COMPOUNDS.
HERSTELLUNG VON MIKROMINIATURANORDNUNGEN UNTER VERWENDUNG DER PLASMAÄTZUNG VON SILIZIUM MIT FLUORHALTIGEN GASVERBINDUNGEN.
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Synoniemen voor using plasma etching in het Engels
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