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wherein the process parameter
Vertaling van "wherein the process parameter" in Duits
wobei der Prozeßparameter
bei dem der Prozessparameter
The circuit of claim 6, wherein the process parameter is indicative of a sheet resistance.
Schaltungsanordnung nach Anspruch 6, wobei der Prozeßparameter indikativ ist für einen Schichtwiderstand.
A system according to claim 3, wherein the process parameter is pressure within a nozzle in the abrasive waterjet system.
System nach Anspruch 3, wobei der Prozeßparameter Druck innerhalb einer Düse in dem abrasiven Wasserstrahlsystem ist.
The computer-readable medium of claim 34, wherein the process parameter comprises one of a temperature, a tension, a strain, a cure, a solvent fraction, and a crystallinity.
Computerlesbares Medium nach Anspruch 34, wobei der Prozessparameter eine Temperatur, eine Spannung, eine Dehnung, eine Aushärtung, einen Lösungsmittelanteil oder eine Kristallinität aufweist.
A process monitor according to claim 1 wherein the process parameter further comprises a thickness of a layer carried by the wafer (74).
Prozessüberwachungsgerät nach Anspruch 1, bei dem der Prozessparameter weiterhin eine Dicke einer auf dem Wafer (74) aufgebrachten Schicht ist.
A method of monitoring a process as recited in claim 17 wherein the process parameter further comprises a thickness of a layer carried by the wafer (74).
Verfahren zum Überwachen eines Prozesses nach Anspruch 17, bei dem der Prozessparameter weiterhin eine Dicke einer auf dem Wafer (74) aufgebrachten Schicht ist.
The method of any of the preceding claims, wherein the process parameter measurement is measured at least once from about 340 machine degrees to about 360 machine degrees.
Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Verfahrensparametermessung zumindest einmal von etwa 340 Maschinengrad bis etwa 360 Maschinengrad gemessen wird.
A process as claimed in claim 3, wherein the process parameter(s) employed is (are) the gas volume flow (m 3/s), the gas rate (m/s) and/or the pulverulent solids flow (g/min).
Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß als prozessuale Stellgrößen der Gasvolumenstrom (m 3/s) die Gasgeschwindigkeit (m/s) und/oder der pulverförmige Feststoffstrom (g/min) eingesetzt wird bzw. werden.
A process monitor according to claim 9 wherein the process parameter further comprises a deposition rate of a layer carried by the wafer (74).
Prozessüberwachungsgerät nach Anspruch 9, bei dem der Prozessparameter weiterhin eine Abscheiderate einer auf dem Wafer (74) aufgebrachten Schicht ist.
The process of claim 19, wherein the process parameter is selected from supply of biologically active compound, supply of auxiliary granulation agent, supply of coating agent, supply of gas, temperature, pressure, pH, speed and mechanical force conferred to the process.
Verfahren nach Anspruch 19, wobei der Verfahrensparameter ausgewählt ist aus der Zufuhr der biologisch aktiven Verbindung, der Zufuhr des Granulierungshilfsmittels, der Zufuhr des Beschichtungsmittels, der Gaszufuhr, der Temperatur, dem Druck, dem pH-Wert, der Geschwindigkeit und der dem Verfahren verliehenen mechanischen Kraft.
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