Gesproken tekst vertalen, offlinefuncties, synoniemen, vervoegingen, educatieve spelletjes
Publiciteit
Registreer gratis: toegang tot meer resultaten en functies
a patterning device
Vertaling van "a patterning device" in Frans
un dispositif de structuration
un dispositif de modelage
un dispositif de modélisation
un dispositif de mise en forme
un dispositif de formation de motifs
un dispositif de formation de motif
un dispositif de formation de dessins
lithographic apparatus, device manufacturing method, cleaning system and method for cleaning a patterning device
appareil lithographique, procédé de fabrication de dispositif, système de nettoyage et procédé de nettoyage d'un dispositif de structuration
In one embodiment, a lithographic apparatus that uses a patterning device to expose a substrate (W) comprises a position determining system that is operative to determine a relative position of the patterning device with respect to a predetermined reference frame.
Dans un mode de réalisation, un appareil lithographique qui utilise un dispositif de structuration pour exposer un substrat (W) comprend un système de détermination de position, fonctionnant pour déterminer une position relative du dispositif de structuration par rapport à un cadre de référence prédéfini.
a pattern support configured to hold a patterning device, the patterning device configured to pattern the radiation to form a patterned beam of radiation
un support de modelage conçu pour retenir un dispositif de modelage, le dispositif de modelage étant conçu pour modeler le rayonnement afin de former un faisceau de rayonnement modelé
a patterning device, including alignment targets having alignment features formed from a plurality of diffractive elements, each diffractive element including an absorber stack and a multi-layered reflector stack is provided
l'invention concerne un dispositif de modelage, comprenant des cibles d'alignement ayant des caractéristiques d'alignement formées à partir d'une pluralité d'éléments diffractifs, chaque élément diffractif comprenant une pile d'absorbeurs et une pile de réflecteurs multicouches
The method includes loading a patterning device (302) into a lithographic apparatus.
Le procédé comprend le chargement d'un dispositif de modélisation (302) dans un appareil lithographique.
A support such as a clamp (310) is configured to releasably hold a patterning device such as a reticle (300) to secure it and prevent heat-induced deformation of it.
Selon la présente invention, un support tel qu'une pince est configuré pour maintenir de manière libérable un dispositif de modélisation tel qu'un réticule pour le fixer et empêcher une déformation induite par chaleur de celui-ci.
Methods and systems are described for cleaning a support (400) such as a clamp (404) of a chuck (402) that holds a patterning device (302) in a lithographic apparatus.
La présente invention porte sur des procédés et systèmes pour nettoyage d'un support (400) tel qu'une pince (404) d'un mandrin (402) qui maintient un dispositif de modélisation (302) dans un appareil lithographique.
a lithographic apparatus includes an illumination system configured to condition a radiation beam, a support for a patterning device, a substrate table for a substrate, a projection system, and a control system
un appareil de lithographie comprenant un système d'éclairage conçu pour traiter un faisceau de rayonnement, un support pour un dispositif de structuration, un plateau pour un substrat, un système de projection et un système de commande
A patterning device is also provided, which is formed by a template and a carrier releasably attached to each other.
Un dispositif de modelage, qui est formé d'un gabarit et d'un support fixés l'un à l'autre de manière amovible, est également prévu.
DETERMINING POSITION AND CURVATURE INFORMATION DIRECTLY FROM A SURFACE OF A PATTERNING DEVICE.
DÉTERMINATION D'INFORMATIONS DE COURBURE ET DE POSITION, DIRECTEMENT DEPUIS UNE SURFACE D'UN DISPOSITIF DE STRUCTURATION
The exchangeable object can be a patterning device of a lithographic apparatus.
L'objet échangeable peut être un dispositif de formation de motif d'un appareil lithographique.
A pattern from a patterning device is applied to a substrate.
Selon l'invention, un motif venant d'un dispositif de réalisation de motif est appliqué à un substrat.
The apparatus also includes a support constructed to support a patterning device.
L'appareil comprend également un support conçu pour supporter un dispositif de mise en forme du faisceau.
Synoniemen voor a patterning device in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
Resultaten: 37. Exact: 37. Verstreken tijd: 61 ms.
