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a pellicle frame
Vertaling van "a pellicle frame" in Frans
un cadre de pellicule
un cadre pelliculaire
attaching a pellicle frame to a reticle
fixation d'un cadre de pellicule sur un réticule
The present invention generally relates to a pellicle frame for supporting a pellicle film capable of preventing foreign substances from adhering to a photomask or a reticle used in a lithography process upon fabrication of a semiconductor device.
L'invention concerne un cadre de pellicule destiné au support d'un film pelliculaire servant à empêcher des corps étrangers d'adhérer à un masque photographique ou à un réticule utilisé en lithographie pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
The pellicle comprises a pellicle frame, a pellicle film that is arranged on one end face of the pellicle frame, and a mask adhesive layer that is arranged on the other end face of the pellicle frame.
La pellicule comprend un cadre de pellicule, un film de pellicule qui est disposé sur une face d'extrémité du cadre de pellicule, et une couche d'adhésif pour masque qui est disposée sur l'autre face d'extrémité du cadre de pellicule.
also described is a method for adhering an optical pellicle membrane to a pellicle frame with plural upper planar surfaces.
l'invention concerne aussi un procédé permettant de faire adhérer une membrane de pellicule optique sur un cadre de pellicule doté de plusieurs surfaces supérieures planes.
Provided are: a pellicle frame which can inhibit the occurrence of haze and which exhibits little surface glittering defect even under concentrated light; and a process for manufacturing the same.
L'invention concerne: un cadre de pellicule capable d'inhiber l'apparition d'un voile et présentant peu de défaut de scintillement de surface même sous une lumière concentrée; ainsi qu'un processus pour sa fabrication.
a dust-preventing film comprising a pellicle frame, a pellicle film spread across one end surface thereof, and an adhesive layer that includes a hotmelt-type adhesive provided on the other end surfaces
film antipoussière comprenant un cadre de pellicule sur une surface terminale duquel est étendu un film de pellicule, et une couche d'adhésif comprenant un adhésif du type thermofusible, disposé sur les autres surfaces terminales
that protects a predetermined area of the front surface of a mask substrate, provided with a pellicle frame
protégeant une zone prédéterminée de la surface antérieure d'un substrat de masque, comportant un armature pelliculaire
A photomask assembly includes a pellicle assembly formed from a pellicle frame and a pellicle film coupled to a first surface of the pellicle frame.
L'ensemble photomasque comprend un ensemble pellicule formé sur un cadre pelliculaire et un film pelliculaire couplé audit cadre.
the pellicle includes a pellicle membrane mounted to a pellicle frame by a first adhesive layer and with the pellicle frame being mounted to the photomask by a second adhesive layer
cette pellicule comporte une membrane montée sur un cache de pellicule grâce à une première couche adhésive, ce cache étant lui-même montée sur le photomasque grâce à une deuxième couche adhésive
provided is a pellicle frame wherein the frame is not distorted when a pellicle film is stretched and pasted, and the pellicle frame itself follows up flexure caused by the weight of a mask even after a pellicle is pasted to the mask
l'invention concerne un cadre pelliculaire, le cadre pelliculaire n'étant pas déformé lorsqu'un film de pellicule est étiré et collé, et le cadre pelliculaire lui-même suit la flexion provoquée par le poids d'un masque même après qu'une pellicule est collée sur le masque
a pellicle for ultraviolet rays of 140 to 200 nm in wavelength, provided with a pressure-sensitive adhesive and comprising a pellicle membrane, a pellicle frame for spreading and holding the membrane through an adhesive layer
une pellicule pour les rayons ultraviolets d'une longueur d'onde comprise entre 140 et 200 nm, dotée d'une colle auto-adhésive et comprenant une membrane, un cadre dans lequel la membrane est tendue et fixée par une couche de colle
This pellicle has a pellicle frame, a pellicle film formed on one side of the pellicle frame, and an adhesive layer formed on the inner side of the pellicle frame and containing a greaselike fluorocarbon resin.
Cette membrane comporte en outre, sur le côté intérieur de son châssis, une couche adhésive arrêtant les lumières de courtes longueurs d'ondes, telles que la lumière dégagée par un excimère.
this pellicle has a pellicle frame, a pellicle film formed on one side of the pellicle frame, and an adhesive layer formed on the inner side of the pellicle frame and containing a greaselike fluorocarbon resin.
cette membrane se compose d'un châssis, d'une pellicule membranaire sur une face du châssis, et d'une couche adhésive sur la face intérieure du châssis. cette couche adhésive contient une résine fluorocarbonée de type graisseux.
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Synoniemen voor a pellicle frame in het Engels
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