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a semiconductor processing device
Vertaling van "a semiconductor processing device" in Frans
un dispositif de traitement de semi-conducteur
Provided are a wafer support apparatus and a semiconductor processing device having same.
L'invention concerne un appareil de support de tranche et un dispositif de traitement de semiconducteurs utilisant celui-ci.
variable gap stop which can be used in a semiconductor processing device
dispositif d'arrêt à intervalle variable pouvant être utilisé dans un dispositif de traitement de semi-conducteur
the invention provides a system and method comprising an apparatus for removing contaminants from a gas in a semiconductor processing device, which can include a filter unit having at least two parallel filter stages located therein
l'invention concerne un système et un procédé comprenant un dispositif permettant d'éliminer les contaminants d'un gaz dans un dispositif de traitement de semi-conducteurs. le dispositif comprend une unité filtre contenant au moins deux étages de filtres parallèles
a fluorine gas supply system with which fluorine gas generated by a fluorine gas generator can be stably supplied in a large amount to a semiconductor processing device in a precise concentration
un système d'alimentation en gaz fluoré grâce auquel le gaz fluoré généré par un générateur de gaz fluoré peut être fourni de manière stable en grande quantité à un dispositif de traitement de semi-conducteur dans une concentration précise
A semiconductor processing device has a port structure for carrying in and out a processing subject substrate (W).
L'invention concerne un dispositif de traitement de semi-conducteur comprenant une structure d'orifice permettant d'introduire ou de sortir un substrat (W) soumis à un traitement.
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