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a substrate support surface
Vertaling van "a substrate support surface" in Frans
une surface de support de substrat
A substrate support with an annular support surface surrounds a substrate support surface.
Un support de substrat, présentant une surface de support annulaire, entoure une surface de support de substrat.
In some embodiments, a substrate support surface may then be arranged over the printer table, so that the printed layer is disposed between the printer table and the substrate support surface.
Dans certains modes de réalisation, une surface de support de substrat peut être disposée au-dessus de la table d'imprimante, de sorte que la couche imprimée est disposée entre la table d'imprimante et la surface de support de substrat.
The chuck assembly includes an electrostatic chuck having a substrate support surface on a first side, and a facility plate coupled to the electrostatic chuck on a second side that is opposite the substrate support surface.
L'ensemble mandrin comprend un mandrin électrostatique présentant une surface de support de substrat sur un premier côté, et une plaque d'installation accouplée au mandrin électrostatique sur un second côté opposé à la surface de support de substrat.
a substrate support useful for a plasma processing apparatus includes a metallic heat transfer member and an overlying electrostatic chuck having a substrate support surface
un support de substrat destiné à un appareil de traitement au plasma, comprenant un élément de transfert de chaleur métallique et un mandrin électrostatique sus-jacent comportant une surface de support de substrat
[Problem] To provide an inspection method with which it can be determined whether foreign matter adhered to a substrate support surface of an exposure stage has an effect on exposure results for a substrate.
L'invention concerne un procédé d'inspection permettant de déterminer si une matière étrangère qui adhère sur une surface de support de substrat d'un étage d'exposition a un effet sur les résultats d'exposition du substrat.
A substrate support surface is formed in the upper surface of the body and defines a portion of a substrate receiving pocket.
Une surface de support de substrat est formée dans la surface supérieure du corps et définit une partie de poche de réception de substrat.
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