Vertaling van "a substrate supporting surface" in Frans
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une surface de support de substrat
A plurality of windows formed in a substrate supporting surface of the substrate support assembly.
A substrate processing system includes a pedestal including a substrate supporting surface having a diameter that is greater than a diameter of a substrate to be processed by the substrate processing system.
La présente invention concerne un système de traitement de substrat comprenant un socle comportant une surface de support de substrat présentant un diamètre supérieur à un diamètre d'un substrat destiné à être traité par le système de traitement de substrat.
a substrate support assembly 30 comprises a support 38 with a substrate supporting surface 55 and a collar 130 comprising an electrical connector, whereby a voltage may be supplied to the collar 130 through the electrical connector
un ensemble support de substrat comprenant un support présentant une surface d'appui de substrat et un collier comportant un connecteur électrique, le collier pouvant être alimenté par une tension par le biais du connecteur électrique
and a stage having a substrate supporting surface and an axis about which the substrate supporting surface rotates wherein the sputtering target supporting surface and the substrate supporting surface are opposing each other and rotatable independently about respective axes of rotation
la surface de support cible de pulvérisation et la surface de support de substrat étant opposée l'une à l'autre et pouvant tourner indépendamment autour d'axes respectifs de rotation
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