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a substrate-processing apparatus
Vertaling van "a substrate-processing apparatus" in Frans
un appareil de traitement de substrats
un appareil de traitement de substrat
The present invention also provides a substrate-processing apparatus comprising the gas distribution apparatus.
Cette invention concerne également un appareil de traitement de substrat comprenant l'appareil de distribution de gaz.
Provided are a substrate-processing apparatus and a substrate-processing method.
L'invention concerne un appareil de traitement de substrats et un procédé de traitement de substrats.
Provided is a substrate-processing apparatus including a storage member, a transfer member, and a control unit.
L'invention concerne un appareil de traitement de substrat comprenant un élément de stockage, un élément de transfert et une unité de commande.
and a method for cleaning a substrate-processing apparatus by using the cleaning sheet or the conveying member
et à un procédé de nettoyage d'un appareil de traitement de substrats faisant appel à la feuille de nettoyage ou à l'élément de transport
a substrate-processing apparatus where individual processing chambers have different processing times, wherein intervals of loading substrates into the processing chambers are made constant and wherein the substrates are not stagnated in the processing chambers
un dispositif de traitement de substrat dans lequel différentes chambres de traitement ont différents temps de traitement, sachant que les intervalles de chargement des substrats dans ces chambres sont constants et que les substrats ne résident pas dans lesdites chambres
The present invention relates to a gas-discharging device, and to a substrate-processing apparatus implementing the gas-discharging device.
La présente invention porte sur un dispositif émetteur de gaz et sur un appareil de traitement de substrats qui met en œuvre le dispositif émetteur de gaz.
Provided is a substrate-processing apparatus including a transfer member loading and taking out a substrate to and from a storage member, and a control unit controlling the transfer member.
L'invention porte sur un appareil de traitement de substrat comprenant un élément de transfert pour charger et prélever un substrat dans et depuis un élément de stockage, et une unité de commande pour commander l'élément de transfert.
a cleaning sheet excellent in both of conveyability in a substrate-processing apparatus and an ability of removing foreign matters adhered in the apparatus
à une feuille de nettoyage présentant à la fois une bonne aptitude au transport dans un appareil de traitement de substrats et une bonne aptitude à l'élimination des matières étrangères qui adhèrent à l'intérieur de l'appareil
A substrate-processing apparatus having a processing chamber in which a processing gas produced by evaporation of a processing solution is supplied to a substrate and processing is performed.
La présente invention concerne un appareil de traitement de substrat, comportant une chambre de traitement dans laquelle un gaz de traitement produit par évaporation d'une solution de traitement est envoyé vers un substrat, réalisant de ce fait le traitement.
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