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un système interférométrique
un système d'interféromètre
un système interféromètre
in an interferometer system, a revolving antenna array is used to sufficiently resolve all ambiguities in determination of frequency and direction of arrival of a wave-front
un système interférométrique utilisant un réseau tournant d'antennes permettant de résoudre de manière suffisante les ambiguïtés de détermination de fréquence, et de direction de provenance, de fronts d'ondes
The invention relates to an interferometer system (41), especially for use in a co-ordinate measuring system.
A calibration wafer and a method for calibrating an interferometer system are disclosed.
L'invention porte sur une tranche d'étalonnage et sur un procédé pour étalonner un système d'interféromètre.
a signal processing method in an interferometer system applies measurement light to a measurement object to obtain reflected light and measures position information on the measurement object according to the reflected light
une méthode de traitement de signal dans un système d'interféromètre appliquant une lumière de mesure sur un objet de mesure pour obtenir une lumière réfléchie et mesurant des informations de position sur l'objet de mesure, en fonction de cette lumière réfléchie
For high precision positioning of the first part, an interferometer system (731,730) is provided.
Un système d'interféromètre (731,730) est utilisé pour positionner ladite première partie avec un degré de précision élevé.
an interferometer system for tracking a position of a movable object in a pattern generator is provided
la présente invention concerne un système d'interféromètre permettant de suivre une position d'un objet mobile dans un générateur de motifs
an interferometer system has a measurement path that includes at least two passes to a measurement object, and overlaps the measurement beam with the reference beam after the measuremetn beam completes the two passes
un système interférométrique qui possède une voie de mesure comprenant au moins deux passages vers un objet de mesure, et recouvrant le faisceau de mesure au moyen du faisceau de référence après que le faisceau de mesure a effectué les deux passages
in an interferometer system, variations of the refractive index in the medium traversed by the measuring beam can be detected by using two measuring beams having wavelengths which differ by a factor of three
à détecter, dans un système interférométrique, des variations de l'indice de réfraction dans le milieu traversé par le faisceau de mesure, au moyen de deux faisceaux de mesure dont les longueurs d'onde diffèrent par un facteur égal à trois
an interferometer system in which a linearly polarized beam from a light source passes through a density filter. the beam then passes through a half-wave retardation plate which produces two orthogonally polarized beams
dans un système interférométrique, un faisceau à polarisation linéaire émis par une source de lumière traverse un filtre de densité, puis une lame demi-onde de retardement qui produit deux faisceaux polarisés orthogonaux
the invention generally relates, in one aspect, to an interferometer system. the interferometer system includes a splitter/combiner element (SCE), a first bi-directional optical path, and a second bi-directional optical path.
la présente invention concerne d'une manière générale, dans un mode de réalisation, un système interférométrique, lequel système interférométrique comprend un élément coupleur/combinateur (SCE), un premier chemin optique bidirectionnel et un deuxième chemin optique bidirectionnel.
an interferometer system for measuring positional information of the stage apparatus within the XY flat surface
un système d'interféromètre pour mesurer des informations de position de l'appareil d'étage à l'intérieur de la surface plate XY
the exposure equipment is provided with a substrate stage PST which can hold the substrate p, an interferometer system
l'équipement d'exposition est pourvu d'une platine à substrat PST capable de maintenir le substrat p, un système interférométrique
an interferometer system and method may be used to measure substrate thickness or shape
un système interféromètre et un procédé qui peuvent être utilisés pour mesurer une épaisseur ou une forme de substrat
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Synoniemen voor an interferometer system in het Engels