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et un module de traitement
The substrate processing system includes a front end module, a load module, and a process module.
Le système de traitement de substrat comprend un module d'extrémité avant, un module de charge et un module de traitement.
Third and fourth vacuum robots are configured to transfer one workpiece at a time between the load lock modules and a process module.
Un troisième et un quatrième robots à dépression sont configurés pour transférer une seule pièce d'usinage à la fois entre les modules de verrouillage de charge et un module de traitement.
the apparatus includes a monitor module, a verification module, and a process module
l'appareil comporte un module de surveillance, un module de vérification et un module de traitement
a process system for processing semiconductor wafers includes a stocker module, and immersion module, and a process module
un système de traitement destiné à traiter des plaquettes semi-conductrices comprenant un module de stockage, un module d'immersion, et un module de traitement
a winding module is provided for accommodating the winding devices, and a process module is provided for accommodating the false twist units. a doffing passage is formed along the winding module, and a servicing passage is formed along the process module
un module de bobinage sert à recevoir les dispositifs de bobinage et un module de traitement sert à recevoir les unités de fausse torsion, un couloir de levée étant disposé le long du module de bobinage et un couloir de service étant disposé le long du module de traitement
and a process module, connected to the determining module, for performing related process to the network information update number according to the determined result of the determining module
et un module de traitement, relié au module de détermination qui effectue le traitement approprié sur le nombre d'actualisations des informations du réseau sur la base du résultat déterminé par le module de détermination
and a process module controller for controlling the digital signal processor
et un contrôleur de module de processus contrôlant le processeur de signaux numériques
A system for facilitating configuration of a process plant may include a process graphics editor and a process module editor.
Système servant à faciliter la configuration d'une installation de traitement et pouvant comprendre un éditeur de graphique de traitement et un éditeur de module de traitement.
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