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blanking aperture array
Vertaling van "blanking aperture array" in Frans
matrice à orifices de suppression
charged particle beam illumination of blanking aperture array
éclairage d'une matrice à orifices de suppression par faisceaux de particules chargées
Consequently, no demagnification of the beams passing through the blanking aperture array is necessary to form a small exposure pixel on the writing plane.
En conséquence, il n'est pas nécessaire de réduire les faisceaux traversant la matrice à orifices de suppression pour obtenir un petit pixel d'exposition sur le plan d'enregistrement.
The exposure changing means preferably has a blanking electrode array or a blanking aperture array device.
Les moyens de changement d'exposition comprennent, de préférence, un réseau d'électrodes d'effacement ou un dispositif à rangées d'ouvertures d'effacement.
a charged particle beam exposure system has a blanking aperture array having groups of apertures controlled by shift registers, wherein different inputs to the shift registers influence a different number of apertures
un système d'exposition de faisceau de particules chargées comportant un réseau d'ouvertures d'effacement ayant des groupes d'ouvertures commandés par des registres à décalage, des entrées différentes sur les registres à décalage influençant un nombre différent d'ouvertures
Where an electron source with a small effective source size is used, for example an electron field emission source or Schottky source, crossovers of the individual beams may occur within the separate apertures of the blanking aperture array.
Lors de l'utilisation d'une source d'électrons de petite taille telle qu'une source d'électrons à émission de champ ou source Schottky, des croisements de faisceaux individuels peuvent se produire dans les orifices distincts de la matrice.
a charged particle beam column efficiently illuminates a blanking aperture array by splitting a charged particle beam into multiple charged particle beams and focusing each charge particle beam on a separate aperture of the blanking aperture array
une colonne de faisceaux de particules chargées éclaire efficacement une matrice à orifices de suppression en divisant un faisceau de particules chargées en plusieurs faisceaux et en focalisant chacun de ces faisceaux sur un orifice distinct de la matrice
Synoniemen voor blanking aperture array in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
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