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capacitance type acceleration sensor
Vertaling van "capacitance type acceleration sensor" in Frans
détecteur d'accélération de type à capacité
capteur d'accélération de type capacitif
capteur d'accélération du type à capacitance
A capacitance type acceleration sensor that is excellent in the linearity of sensitivity and has a simple structure.
Le capteur d'accélération du type à capacitance selon l'invention a une sensibilité d'une excellente linéarité et présente une structure simple.
Provided is an electrostatic capacitance type acceleration sensor which can perform an accurate acceleration measurement.
La présente invention concerne un capteur d'accélération du type à capacité électrostatique qui peut pratiquer une mesure précise d'une accélération.
In the sensor region, a capacitance type acceleration sensor is formed by processing a semiconductor substrate surface layer section that faces the hollow.
Dans la région de capteur, un capteur d'accélération de type capacitif est formé en traitant une section de couche de surface du substrat semi-conducteur qui fait face au creux.
the capacitance type acceleration sensor is mainly composed of a silicon substrate having a movable electrode and beams which resiliently support the movable electrode, and a pair of glass substrates so disposed to hold the silicon substrate therebetween
le détecteur d'accélération de type à capacité est principalement composé d'un substrat de silicium ayant une électrode mobile et des montants qui supportent de manière élastique l'électrode mobile, et une paire de substrats de verre disposés de façon à maintenir le substrat de silicium entre ceux-ci
An electrostatic capacitance type acceleration sensor is formed by joining one main surface of a silicon substrate (11), which is a first substrate, and a glass substrate (13), which is a second substrate.
Un détecteur d'accélération de type à capacité électrostatique est formé par liaison de la surface principale d'un premier substrat en silicium (11) et d'un second substrat en verre (13).
A capacitance type acceleration sensor in which detection error can be reduced by suppressing the component of other axial acceleration, is provided.
Cette invention se rapporte à un capteur d'accélération de type capacitance dans lequel une erreur de détection peut être réduite en supprimant la composante d'une autre accélération axiale.
a capacitance type acceleration sensor capable of detecting any and all acceleration regions and accurately performing acceleration measurements as well as being adaptable for miniaturization
un détecteur d'accélération de type à capacité apte à détecter l'une quelconque ou la totalité de régions d'accélération et à effectuer de manière précise des mesures d'accélération, ainsi qu'adaptable en vue d'une miniaturisation
The capacitance type acceleration sensor includes a comb-teeth-like fixed electrode and a comb-teeth-like movable electrode.
Le capteur d'accélération de type capacitif comprend une électrode fixe de type « dents de peigne » et une électrode mobile de type « dents de peigne ».
the surface of the cantilever and the surface of the monocrystalline silicon substrate which faces the cantilever are covered with an SiO2 film in order to prevent the electrodes of the capacitance type acceleration sensor from being short-circuited
la surface de l'élément en porte-à-faux et la surface du substrat du silicium monocristallin qui fait face à l'élément en porte-à-faux sont recouvertes d'un film de SiO2 afin d'empêcher les électrodes du capteur d'accélération du type à capacitance d'être court-circuitées
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