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capacitive mems sensor
Vertaling van "capacitive mems sensor" in Frans
capteur MEMS capacitif
The present invention relates to a capacitive MEMS sensor device for sensing a mechanical quantity.
La présente invention porte sur un dispositif capteur MEMS capacitif pour détecter une grandeur mécanique.
to provide such a capacitive MEMS sensor device which enables fast recovery from (near) sticking after a mechanical overload situation it is proposed that the sensor device comprises
un tel dispositif capteur MEMS capacitif, qui permet un rétablissement rapide en cas de (presque) adhérence après une situation de surcharge mécanique, comprend
A packaged capacitive MEMS sensor device 100 includes at least one capacitive MEMS sensor element with at least one capacitive MEMS sensor cell 100a including a first substrate 101 having a thick 106 and a thin 107 dielectric region.
La présente invention concerne un dispositif 100 à capteur MEMS capacitif conditionné comprenant au moins un élément de capteur MEMS capacitif doté d'au moins une cellule 100a de capteur MEMS capacitif comprenant un premier substrat 101 ayant une région diélectrique épaisse 106 et une région diélectrique fine 107.
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE ETCHING METHOD AND PRODUCTION METHOD FOR CAPACITIVE MEMS SENSOR
PROCÉDÉ DE GRAVURE DE SUBSTRAT À SEMI-CONDUCTEUR, ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION POUR CAPTEUR CAPACITIF EN TECHNOLOGIE MEMS
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Synoniemen voor capacitive mems sensor in het Engels
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