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According to one embodiment, a chuck assembly for plasma processing is provided.
Selon un mode de réalisation, un ensemble mandrin pour traitement par plasma est utilisé.
electrostatic chuck assembly with capacitive sense feature, and related operating method
ensemble mandrin électrostatique avec particularité de détection capacitive, et procédé de fonctionnement apparenté
The chuck assembly may be configured to move in the vertical direction and to be adjustable between a plurality of roll configurations.
L'ensemble de mandrins peut être conçu afin de se déplacer dans le sens vertical et pour être ajustable entre une pluralité de configurations de rouleaux.
the chuck assembly includes a chuck member comprising a unitary monolithic dielectric member of ceramic material like ALN or the like. a power electrode may be embedded within the unitary monolithic dielectric member
l'ensemble de mandrins de cette invention comprend également un mandrin pourvu d'un élément diélectrique monolithique unitaire fabriqué dans un matériau céramique, du type ALN ou similaire, une électrode de puissance pouvant être intégrée dans cet élément diélectrique monolithique unitaire
a chuck assembly for use with a rotary tool includes a plurality of spaced apart jaws
un ensemble de mandrin destiné à un outil rotatif et comprenant plusieurs mâchoires espacées
a suspended chuck assembly, having a spinning member and a drive contact portion
un ensemble de mandrin suspendu, comprenant un organe de rotation et une portion de contact d'entraînement
A dual zone electrostatic chuck assembly may compensate for temperature gradients across a substrate surface.
Un ensemble mandrin électrostatique à double zone peut compenser les gradients de température à travers une surface de substrat.
a quick change chuck assembly for tool bits uses a bayonet style lock
un ensemble mandrin à changement rapide pour outils rapportés comporte un verrouillage du type à baïonnette
An electrostatic chuck assembly including a dielectric layer with a top surface to support a workpiece.
L'invention concerne un ensemble mandrin électrostatique comprenant une couche diélectrique possédant une surface supérieure pour supporter une pièce à usiner.
power tool having a quick-release chuck assembly
outil électrique pourvu d'un ensemble mandrin à ouverture rapide
chuck assembly for a drill box of a mine drill
ensemble mandrin pour un archet d'un fleuret de mine
the chuck assembly may be used in combination with various other components to form combinations or systems
l'ensemble mandrin peut être utilisé combiné avec d'autres composants divers afin de constituer des combinaisons ou des systèmes
the design of such a reduced impedance chamber includes a chuck assembly, a counter electrode and a plasma source
cette chambre à impédance réduite comprend un ensemble mandrin, une contre-électrode et une source de plasma
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