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For example, the excess copper etching solution, the micro etching treatment liquid, and the plating cleaning liquid tend to be recycled online.
Par exemple, la solution de gravure de cuivre en excès, le liquide de traitement de microgravure et le liquide de nettoyage de placage ont tendance à être recyclés en ligne.
The present invention pertains to a copper etching solution that can suppress side etching of a copper wiring pattern, to a replenishment solution thereof, and to a method for forming wiring.
La présente invention porte sur une solution d'attaque chimique du cuivre, qui peut supprimer le minage d'un modèle de câblage en cuivre, sur une solution de remplissage associée et sur un procédé de formation d'un câblage.
providing a copper etching solution containing copper source, chlorine source, bromine source and iodine source
se procurer une solution d'attaque de cuivre contenant une source de cuivre, une source de chlore, une source de brome et une source d'iode
the layer is formed on a part or the entirety of the surface of the layer and gives an etching rate slower than copper in etching with a copper etching solution
la couche est formée sur une partie ou sur la totalité de la surface de la couche et fournit une vitesse d'attaque chimique plus lente que le cuivre lors d'une attaque chimique au moyen d'une solution d'attaque chimique de cuivre
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Synoniemen voor copper etching solution in het Engels