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données de configuration de conception
a design layout data drawing processing unit which performs integrated projection processing
une unité de traitement de dessin de données de configuration de conception qui réalise un traitement de projection intégrée
on the abovementioned defect data and the design layout data where defects had occurred out of the abovementioned design layout data to thereby create a design layout data defect integrated projection display chart
sur les données de défaut mentionnées ci-dessus et les données de configuration de conception où des défauts se sont produits parmi les données de configuration de conception mentionnées ci-dessus pour ainsi créer un graphique d'affichage de projection intégrée de défaut de données de configuration de conception
a design layout data read unit which acquires design layout data including the position information of the design circuit patterns used in each step of semiconductor production
une unité de lecture de données de configuration de conception qui acquiert des données de configuration de conception comprenant les informations de position des motifs de circuit de conception utilisés dans chaque étape de la fabrication de semi-conducteur
and a defect integrated projection display device which displays the design layout data defect integrated projection display chart.
et un dispositif d'affichage de projection intégrée de défaut qui affiche le graphique d'affichage de projection int
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