tailored reflecting diffractor for euv lithographic system aberration measurement
diffracteur réfléchissant sur mesure pour mesure d'aberration de système lithographique à uv extrême
A new 3 asymmetrical outputs cannula with integrated diffractor, shorter and ergonomic.
Une nouvelle canule à 3 sorties asymétriques avec diffracteur intégré, plus courte et ergonomique.
a diffractor having a surface with a plurality of diffraction rulings inscribed thereon for diffracting electromagnetic radiation directed from the collimator
un dispositif de diffraction présentant une surface sur laquelle est prévue une pluralité de lignes de diffraction pour diffracter les rayonnements électromagnétiques dirigés depuis le collimateur
in the preferred embodiment, the cylindrical mirror comprises a concave cylindrical mirror positioned such that the cylindrical axis is substantially normal to rulings on the diffractor
dans le mode de réalisation préféré, le miroir cylindrique comprend un miroir cylindrique concave positionné de telle sorte que l'axe cylindrique est sensiblement perpendiculaire aux lignes sur le dispositif de diffraction
the angle of incidence of the light of the diffractor, and
par l'angle d'incidence de la lumière sur le diffracteur, et
for determining the wavelengths from the output signals, in which the received light beam has a spatially uniform intensity; the diffractor diffracts each signal on a different detector element subset, consisting of at least a first element
destiné à déterminer les longueurs d'onde des signaux de sortie, dans lesquels le faisceau lumineux reçu a une intensité spatialement uniforme le diffracteur diffracte chaque signal sur un ensemble d'éléments de détection différent constitué par au moins un premier élément
each diffractor includes a tent member disposed above and spaced apart from an upper surface of a substrate, a movable actuator disposed between the substrate and the tent member, and a driver moving the actuator
chaque diffracteur comprend un élément tente placé au-dessus et à l'écart d'une surface supérieure d'un substrat, un actionneur mobile placé entre le substrat et l'élément tente, ainsi qu'un excitateur qui entraîne l'actionneur
MOLECULAR DIFFRACTOR AND UTILIZATION THEREOF FOR THE SUPPLY OF INTERNAL COMBUSTION ENGINES
DIFFRACTEUR MOLECULAIRE ET SON UTILISATION POUR L'ALIMENTATION DE MOTEURS A COMBUSTION INTERNE
For each respective hypothetical diffractor location, the method may then search for coherent diffraction arrivals on nearby 2 D seismic lines consistent with the respective hypothetical diffractor location.
Pour chaque emplacement hypothétique respectif de diffracteur, le procédé peut ensuite chercher des arrivées cohérentes de diffraction sur des lignes sismiques régulières en 2 D à proximité de l'emplacement hypothétique respectif de diffracteur.
The method may then store information regarding identified diffractor locations.
Le procédé peut ensuite stocker des informations concernant les emplacements identifiés du diffracteur.
a change in the diffraction characteristics of the diffractor.
The method may then create a map based on the identified diffractor locations, wherein the map illustrates areas of high diffraction.
Le procédé peut ensuite créer un plan basé sur les emplacements identifiés du diffracteur, où le plan illustre des zones de diffraction élevée.
including signals with various wavelengths and passing the beam at least partly; a diffractor
comportant des signaux à plusieurs longueurs d'onde et à le transmettre au moins partiellement, un appareil de diffraction