The coating reduces a number of particles generated by the electrostatic chuck.
The plasma processing chamber has an electrostatic chuck for clamping a wafer.
In one embodiment, an electrostatic chuck is provided.
electrostatic chuck, susceptor and method for fabrication
Also disclosed is a production method for the electrostatic chuck device.
Elle concerne aussi un procédé de production du dispositif de fixation électrostatique.
An electrostatic chuck apparatus is recovered to attract a work in a short time by a simple process.
Le dispositif de fixation électrostatique selon l'invention est destiné à attirer une pièce en peu de temps par un processus simple.
The wafer is supported on the top surface of an electrostatic chuck.
La tranche est supportée sur la surface supérieure d'un mandrin électrostatique.
The present invention provides an improved electrostatic chuck for a substrate processing system.
La présente invention porte sur un mandrin électrostatique amélioré pour un système de traitement de substrat.
In accordance with an embodiment of the invention, there is provided an electrostatic chuck.
Selon un mode de réalisation, l'invention porte sur un mandrin électrostatique.
substrate holding mechanism using electrostatic chuck and method of manufacturing the same
mécanisme de maintien de substrat utilisant un mandrin électrostatique et son procédé de production
method and apparatus for dechucking a substrate from an electrostatic chuck
procédé et appareil permettant d'enlever un substrat d'un mandrin électrostatique
electrostatic chuck assembly with capacitive sense feature, and related operating method
ensemble mandrin électrostatique avec particularité de détection capacitive, et procédé de fonctionnement apparenté
A temperature controller controls the temperature of the electrostatic chuck.
Une unité de commande de la température commande la température du mandrin électrostatique.