Then, the innovative etching process has been widely characterized.
Further, provided is an etching process using the same.
The etching process is then completed by a complete automated pipeline.
After the etching process, the topography can then be changed more greatly.
The sacrificial layer is removed through an etching process such as chemical mechanical planarization.
On retire la couche sacrificielle par un processus d'attaque chimique comme une planarisation chimico-mécanique.
method for carrying out a plasma etching process
The ratio of the gas streams is altered during the etching process.
La proportion des flux gazeux est modulée pendant le procédé de gravure.
However, the etching process is different.
Toutefois, le procédé de gravure diffère.
A selective wet etching process is used to remove the hard mask material.
Un procédé de gravure humide sélective est utilisé pour éliminer le matériau de masque dur.
These steps reduce or eliminate the formation of pillars during the etching process.
Ces étapes permettent de réduire ou d'éliminer la formation de colonnes au cours du processus de gravure.
In some embodiments, an etching process is used to remove this film.
Dans certains modes de réalisation, un processus de gravure est utilisé pour retirer ce film.
is subjected to a wet chemical etching process, while the second sacrificial layer
est soumise au procédé de gravure chimique humide, et la seconde couche sacrificielle
a subsequent thermal treatment accelerates or starts the etching process.
un traitement thermique consécutif accélère ou fait démarrer le processus de gravure.