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first mass flow controller
Vertaling van "first mass flow controller" in Frans
premier régulateur de débit massique
The first mass flow controller and the second mass flow controller are respectively installed on the first gas passage and the second gas passage.
Le premier régulateur de débit massique et le second régulateur de débit massique sont respectivement installés sur le premier passage de gaz et le second passage de gaz.
The present invention provides a substrate supporting apparatus having a rotatable chuck, a first mass flow controller, a second mass flow controller, a plurality of locating pins and guiding pillars, and a motor.
La présente invention concerne un appareil de support de substrat qui comporte un mandrin rotatif, un premier régulateur de débit massique, un second régulateur de débit massique, une pluralité de goupilles de positionnement et de piliers de guidage, et un moteur.
A first mass flow controller (106) is connected to the source of gas (10) upstream in the gas flow from the gas exchange device (14).
Un premier régulateur (106) de flux massique est relié à la source de gaz (10) en amont du dispositif échangeur de gaz (14) dans le flux gazeux.
A pressure valve (112) is positioned in the gas flow between the first mass flow controller (106) and the gas exchange device (14).
Une soupape de compression (112) est placée dans le flux gazeux entre ledit premier régulateur (106) et le dispositif échangeur de gaz (14).
An atmospheric vent (110) is positioned between the pressure valve (112) and the first mass flow controller (106).
Un évent atmosphérique (110) est placé entre la soupape de compression (112) et ledit premier régulateur (106).
The Standard Technology Inc. (presently HORIBA STEC) makes the first mass flow controller.
La société Standard Technology Ltd. (aujourd'hui HORIBA STEC) réalise le premier régulateur de débit massique.
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