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first process parameter
Vertaling van "first process parameter" in Frans
premier paramètre de traitement
premier paramètre de processus
In one embodiment, the sensor unit includes a substrate having a wafer-shaped profile and a first sensor, disposed on or in the substrate, to sample a first process parameter.
Pour un mode de réalisation, la sonde comporte un substrat, en forme de plaquette, et un premier capteur, sur ou dans le substrat, de façon à échantillonner un premier paramètre de traitement.
In one embodiment, the sensor unit includes a first source, disposed on or in the substrate, wherein first source generates an interrogation signal and wherein the first sensor uses the interrogation signal from the first source to sample the first process parameter.
Pour un mode de réalisation, la sonde comporte, sur ou dans le substrat, une première source produisant un signal d'interrogation utilisé par le premier capteur pour échantillonner le premier paramètre de traitement.
the plurality of process parameters including a first process parameter of a process temperature for inhibiting diffusion of dopant atoms into the external surface of the silicon substrate
la pluralité de paramètres de traitement comprenant un premier paramètre de traitement d'une température de traitement pour empêcher la diffusion des atomes dopants dans la surface externe du substrat de silicium
The first process sensor is disposed to sense a first process parameter.
Le premier capteur de processus est disposé pour détecter un premier paramètre de processus.
This is achieved in that a periodic change of a first process parameter caused by the target revolution is compensated for by a periodic change of a second process parameter having a determined level and/or that two magnetrons having different rotational speeds are provided.
A cet effet, une modification périodique d'un premier paramètre de processus provoquée par la rotation de la cible est compensée par une modification périodique d'un deuxième paramètre de processus à un niveau déterminé et/ou on utilise deux magnétons qui présentent des vitesses de rotation différentes.
The sensor unit of this embodiment also includes a second sensor, disposed on or in the substrate, to sample a second process parameter wherein the second process parameter is different from the first process parameter.
La sonde selon ce mode de réalisation comporte également, sur ou dans le substrat, un deuxième capteur servant à échantillonner un deuxième paramètre de traitement différent du premier.
measured by the detector, an input for at least one non-radiometrically measured and optionally monitored first process parameter p1 = p1. t-tau., whereby the modification thereof leads to a delay in a modification of delta lm = l
mesurées par un détecteur, une entrée destinée à au moins un premier paramètre de processus p1 = p1. t-tau. mesuré de façon non radiométrique et éventuellement contrôlé, une modification de ce paramètre entraînant de façon différée une modification ΔLm = lm
Synoniemen voor first process parameter in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
Resultaten: 7. Exact: 7. Verstreken tijd: 66 ms.
