A tunable gas flow equalizer is described.
A plasma processing chamber has a lower liner with an integrated flow equalizer.
Une chambre de traitement par plasma a un revêtement interne inférieur avec un égaliseur de flux intégré.
A flow equalizer plate is provided for use in a substrate process chamber.
L'invention concerne une plaque égalisatrice de débit destinée à être utilisée dans une chambre de traitement de substrat.
In an embodiment, the substrate support may be vertically adjustable with respect to the gas flow equalizer plate.
Dans un mode de réalisation, le support formant substrat peut être réglable verticalement par rapport à la plaque de régularisation de l'écoulement de gaz.
Plasma confinement baffle and flow equalizer for enhanced magnetic control of plasma radial distribution
Déflecteur de confinement de plasma et égalisateur de flux pour améliorer le contrôle magnétique de la distribution radiale du plasma
The integrated flow equalizer is configured to equalize the flow of the processing gases evacuated from the chamber via the lower liner.
L'égaliseur de flux intégré est configuré pour égaliser l'écoulement des gaz de traitement évacués de la chambre par l'intermédiaire du revêtement interne inférieur.
The flow equalizer plate has an annular shape with a flow obstructing inner region, and a perforated outer region that permits the passage of a processing gas, but retains specific elements in the processing gas, such as active radicals or ions.
La plaque égalisatrice de débit présente une forme annulaire comprenant une région intérieure bloquant l'écoulement et une région extérieure perforée qui permet le passage d'un gaz de traitement, mais retient des éléments spécifiques du gaz de traitement, comme des radicaux actifs ou des ions.
the linear flow equalizer includes an inlet plate with multiple liquid passageways equidistantly spaced in the cross-machine direction that each provide flowable thermoplastic material to a set of equalizer plates
l'égalisateur de flux linéaire comprend une plaque d'entrée présentant plusieurs passages de liquide espacés de manière équidistante, dans la direction de la fabrication. chaque passage fournit la matière thermoplastique fluide à un ensemble de plaques d'égalisateur
the invention relates to an exhaust gas flow equalizer installed in an exhaust manifold and to an exhaust manifold with such an equalizer installed therein
l'invention concerne un égaliseur d'écoulement de gaz d'échappement installé dans un collecteur d'échappement et un collecteur d'échappement avec un tel égaliseur étant installé à l'intérieur du collecteur
a plasma processing chamber having a lowered flow equalizer and a lower chamber liner
A flow equalizer will permit processing gases to be evenly pulled into the evacuation channel rather than a disproportionate flow into the evacuation channel.
Un égaliseur d'écoulement permettra à des gaz de traitement d'être tirés uniformément dans le canal d'évacuation, plutôt que de s'écouler de façon disproportionnée dans le canal d'évacuation.
MASS FLOW DEVICE USING A FLOW EQUALIZER FOR IMPROVING THE OUTPUT RESPONSE
LOWER LINER WITH INTEGRATED FLOW EQUALIZER AND IMPROVED CONDUCTANCE