Vertaling van "for a plasma processing system" in Frans
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pour système de traitement au plasma
dans un système de traitement au plasma
segmented baffle plate assembly for a plasma processing system
A variety of unique stabilization, drive, division, combination, and supply configurations are presented as well as the possibility of utilization and adaptation of the designs for a plasma processing system.
L'invention décrit plusieurs configurations de stabilisation, entraînement, division, combinaison et alimentation uniques ainsi que la possibilité d'utilisation et d'adaptation des modèles dans un système de traitement au plasma.
This invention relates to an improved component for a plasma processing system, and more particularly, to fasteners for internal chamber parts in a plasma processing chamber.
Cette invention concerne un composant amélioré pour système de traitement au plasma, et plus particulièrement pour des fixations destinées à des pièces de chambre interne dans une chambre de traitement au plasma.
the present invention presents an improved bellows shield for a plasma processing system, wherein the design and fabrication of the bellows shield coupled to a substrate holder electrode advantageously provides protection of a bellows with substantially minimal erosion of the bellows shield.
la présente invention se rapporte à une protection améliorée des soufflets dans un système de traitement au plasma, la conception et la fabrication de ladite protection des soufflets couplée à une électrode de support de substrat offrant une protection avantageuse des soufflets avec une érosion minimale.
a radio frequency (RF) generator apparatus for a plasma processing system that is resistant to nonlinear load mismatch conditions is provided
l'invention porte sur le générateur RF d'un système de traitement au plasma résistant aux conditions de défauts d'adaptation aux non-linéarités de la charge
which produces electrical power in the range of between 1kW and 100kW for a plasma processing system
EXHAUST ASSEMBLY FOR A PLASMA PROCESSING SYSTEM AND METHOD
ENSEMBLE D'ÉCHAPPEMENT POUR SYSTÈME DE TRAITEMENT AU PLASMA ET PROCÉDÉ ASSOCIÉ
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