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for a substrate processing system
Vertaling van "for a substrate processing system" in Frans
pour système de traitement des substrats
The present invention provides an improved electrostatic chuck for a substrate processing system.
La présente invention porte sur un mandrin électrostatique amélioré pour un système de traitement de substrat.
temperature controlled substrate holder with non-uniform insulation layer for a substrate processing system
support de substrat thermorégulé avec couche d'isolation non homogène pour système de traitement des substrats
a backplane assembly for a substrate processing system that is selectively configurable to provide an effective thermal contact with substrates of differing sizes
un ensemble face arrière destiné à un système de traitement de substrat qu'on peut configurer sélectivement de façon à obtenir un contact thermique efficace avec des substrats de tailles différentes
A lock chamber for a substrate processing system is provided which includes at least a first conduit adapted to provide an inner portion of the lock chamber in fluid communication with atmospheric pressure or overpressure.
L'invention concerne un sas de chargement pour un système de traitement de substrats, comprenant au moins une première conduite conçue pour mettre une partie intérieure du sas de chargement en communication fluidique avec la pression atmosphérique ou une surpression.
TEMPERATURE CONTROLLED SUBSTRATE HOLDER WITH NON-UNIFORM INSULATION LAYER FOR A SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
support de substrat thermorÉgulÉ avec couche d'isolation non homogÈne pour systÈme de traitement des substrats
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