Vertaling van "for processing substrates using" in Frans
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pour traiter des substrats au moyen
pour traiter des substrats en utilisant
the invention further relates to a method for processing substrates using such a carrier system, particularly for the production of semi-conductor wafer solar cells.
cette invention concerne en outre un procédé pour traiter des substrats au moyen dudit système de support, en particulier pour produire des cellules solaires à plaquettes de semi-conducteur.
Aspects of the invention generally provide an apparatus and method for processing substrates using a multi-chamber processing system that is adapted to process substrates and analyze the results of the processes performed on the substrate.
L'invention concerne d'une manière générale, dans certains aspects, un appareil et un procédé pour traiter des substrats en utilisant un système de traitement multi-chambre qui est conçu pour traiter des substrats et analyser les résultats des traitements effectués sur le substrat.
a method and apparatus for processing substrates using a multi-chamber processing system that has an increased throughput, increased system reliability, improved device yield performance, a more repeatable wafer processing history, and a reduced footprint
un procédé et un appareil pour traiter des substrats utilisant un système de traitement à chambres multiples ayant un rendement accru, une plus grande fiabilité du système, des performances de puissance du dispositif améliorées, un historique de traitement de galettes mieux reproductible et une empreinte réduite
Methods and apparatus for processing substrates using a multi-chamber processing system (e.g., a cluster tool) that has an increased system throughput and repeatable wafer processing history are provided.
La présente invention concerne des procédés et des appareils pour traiter des substrats à l'aide d'un système de traitement de plusieurs chambres (par ex., un outil de grappe) ayant un débit de système accru et un historique de traitement de tranche pouvant être répété.
METHODS AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATES USING AN ION SHIELD
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