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à chaque étape du procédé
Recording of the quantities of process chemicals used in each process step and recording of production in the same period.
Relevé des quantités de produits chimiques de traitement utilisées à chaque étape du procédé et relevé de la production sur la même période.
Wafers have a limited tolerance to temperature fluctuations during the full fabrication cycle, and it is important in each process step to minimize temperature variation.
Les plaquettes ont une tolérance limitée aux fluctuations de température pendant tout le cycle de fabrication, et il est important de minimiser les variations de température à chaque étape du procédé.
A series of tests are executed in each process step before final packing.
Dimensional stability is to be considered as a characteristic in every system, in each process step, from the production of semi finished plastics to the final end use.
La stabilité dimensionnelle doit être considérée comme une caractéristique présente lors de chaque étape du processus de traitement, depuis la production de plastiques semi-finis à l'utilisation finale.
Provided is a vacuum processing apparatus which can support and transfer a substrate by a method suitable for processing in each process step and can suppress adverse effects to various mechanisms arranged in a processing chamber.
L'invention porte sur un appareil de traitement sous vide qui peut supporter et transférer un substrat par un procédé approprié pour un traitement à chaque étape de traitement et peut supprimer des effets adverses sur divers mécanismes agencés dans une chambre de traitement.
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