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ion beam processing device

Vertaling van "ion beam processing device" in Frans

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dispositif de traitement par faisceau ionique
The purpose of the present invention is to provide an ion beam processing method and ion beam processing device which can minimize the deposition of a re-attachment film even for a fine pattern.
L'objectif de la présente invention est de fournir un procédé de traitement par faisceau d'ions et un dispositif de traitement par faisceau d'ions qui peut rendre minimal le dépôt d'un film de rattachement même pour un motif fin.
ION BEAM PROCESSING DEVICE AND NEUTRALIZER
DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE FAISCEAU D'IONS ET NEUTRALISEUR
ION BEAM PROCESSING DEVICE, ELECTRODE ASSEMBLY, AND ELECTRODE ASSEMBLY CLEANING METHOD
DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR FAISCEAU IONIQUE, ASSEMBLAGE D'ÉLECTRODE ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE D'ASSEMBLAGE D'ÉLECTRODE
Provided is an ion beam processing device that makes it possible to reactively and selectively remove foreign matter which has been attached onto an electrode possessed by an electrode assembly during use of the ion beam processing device.
L'invention concerne un dispositif de traitement par faisceau ionique qui permet d'éliminer de manière réactive et sélective des corps étrangers qui se sont fixés à une électrode incluse dans un assemblage d'électrode pendant l'utilisation du dispositif de traitement par faisceau ionique.
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Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
squirrel: small rodent with a bushy tail
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squirrel
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