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intérieur du sas de chargement
Workpiece movement is accomplished with the aid of a robot which reaches into the load lock interior as it is either depositing workpieces or retrieving them.
Le mouvement des pièces de travail est effectué à l'aide d'un robot qui accède à l'intérieur du sas de chargement lorsqu'elle dépose des pièces de travail ou les récupère.
A pressure rise inside the load lock interior is monitored and when the pressure reaches a threshold pressure above atmosphere the fast acting valve is opened to atmosphere.
Une élévation de pression à l'intérieur du sas de chargement est surveillée et, lorsque la pression atteint une pression seuil au-dessus de celle de l'atmosphère, la vanne à action rapide est ouverte sur l'atmosphère.
This system and process minimizes particle contamination of the load lock interior as well as contamination in the region outside the load lock near the passthrough valve and any scheduled workpieces.
Ce système et ce procédé minimisent la contamination de l'intérieur du sas de chargement par des particules ainsi que la contamination de la région extérieure au sas de chargement près de la vanne de traversée et d'éventuelles pièces de travail en attente.
A representative load lock includes a pressure sensor and multiple valves to atmosphere where at least one such valves is a passthrough valve for removal of and insertion of workpieces from and into a load lock interior.
Un sas de chargement représentatif comprend un capteur de pression et des vannes multiples vers l'atmosphère, au moins une desdites vannes étant une vanne de traversée servant à retirer et à insérer des pièces de travail à partir de et vers l'intérieur du sas de chargement.
The control initiates pressurization of the load lock interior by coupling a source of gas to the load lock interior.
La commande amorce la mise sous pression de l'intérieur du sas de chargement en couplant une source de gaz à l'intérieur du sas de chargement.
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