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load-lock chambers
Vertaling van "load-lock chambers" in Frans
sas de chargement
chambres à effet de sas
An apparatus with a plurality of load-lock chambers stacked having independently controlled pressures within their interior regions is provided.
L'invention concerne un appareil doté d'une pluralité de sas de chargement empilés dont les pressions sont régulées indépendamment dans leurs zones intérieures.
Ideal for load-lock chambers in semiconductor processing to prevent contamination
L'idéal pour empêcher la contamination dans les sas de chargement lors du traitement des semi-conducteurs
when the second openings communicate with the second inlet/outlet ports, the interior of the vacuum chamber is cut off from the interior of the load-lock chambers.
lorsque les secondes ouvertures communiquent avec les seconds orifices d'entrée/sortie, l'intérieur de la chambre à vide est isolé de l'intérieur des chambres à effet de sas.
the load-lock chambers each have a first inlet/outlet port that can communicate with the first opening and a second inlet/outlet port that can communicate with the second openings
ces chambres à effet de sas possèdent chacune un premier orifice d'entrée/sortie qui peut communiquer avec la première ouverture et un second orifice d'entrée/sortie qui peut communiquer avec les secondes ouvertures
This plasma CVD device (100) is equipped with a deposition chamber (1) and load-lock chambers (20, 30) which are separate from the deposition chamber (1).
Ce dispositif de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (100) est pourvu d'une chambre de dépôt (1) et de chambres de blocage de charge (20, 30) séparées de la chambre de dépôt (1).
[Solution] A plurality of processing modules (PM) and wafer conveyance mechanisms (3) are arrayed between load-lock chambers (LL1, LL2).
La solution selon l'invention porte sur plusieurs modules de traitement (PM) et mécanismes de transport de plaquettes (3) qui sont disposés en réseau entre des chambres à sas de chargement (LL1, LL2).
in the vaccum chamber are installed a pair of vertically arranged load-lock chambers. also installed in the vacuum chamber are air supply/exhaust passages to supply and discharge air to and from the load-lock chambers
dans la chambre à vide sont disposées verticalement deux chambres à effet de sas, ainsi que des passages pour l'air d'alimentation et d'évacuation qui servent à amener de l'air dans les chambres à effet de sas et à l'en évacuer
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Synoniemen voor load-lock chambers in het Engels
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Suggesties
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