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mems device comprising
Vertaling van "mems device comprising" in Frans
dispositif mems comprenant
mems device comprising an actuator generating a hysteresis driving motion
dispositif mems comprenant un actionneur apte à générer un mouvement d'entraînement à hystérésis.
a mems device comprising oscillations'measurements means
dispositif mems comprenant des moyens de mesure des oscillations
MEMS DEVICE COMPRISING AN UNDER BUMP METALLIZATION
DISPOSITIF MEMS COMPRENANT UNE MÉTALLISATION SOUS BOSSE
The present invention provides a capacitive MEMS device comprising a first electrode lying in a plane, and a second electrode suspended above the first electrode and movable with respect to the first electrode.
La présente invention concerne un dispositif MEMS capacitif comprenant une première électrode reposant dans un plan, et une deuxième électrode suspendue au-dessus de la première électrode et mobile par rapport à la première électrode.
Some embodiments provide a method for fabricating a MEMS device comprising the use of a self-planarizing sacrificial material, which provides a surface conducive to the formation of a relatively uniform deformable layer thereon.
Certains modes de réalisation ont trait à un procédé pour la fabrication d'un dispositif de système mécaniques microélectroniques comprenant l'utilisation d'un matériau sacrificiel à planarisation autonome, qui fournit une surface entraînant la formation d'une couche déformable relativement uniforme sur celui-ci.
The present invention concerns a MEMS device comprising an under bump metallization (4) - UBM - to contact the device via flip-chip bonding with a substrate.
L'invention concerne un dispositif MEMS qui comprend une métallisation sous bosse (4), dite UBM, destinée à mettre le dispositif en contact avec un substrat par l'intermédiaire d'un soudage de puces à bosses.
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Synoniemen voor mems device comprising in het Engels
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