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multi-column electron
Vertaling van "multi-column electron" in Frans
électronique multicolonne
électronique à multiples colonnes
électronique à colonnes multiples
[PROBLEMS] To provide a multi-column electron beam photolithography system which is capable of keeping an electromagnetic lens on each of column cells uniform and axisymmetric.
L'invention concerne la réalisation d'un système de photolithographie par faisceau électronique multicolonne qui est capable de maintenir une lentille électromagnétique sur chacune de cellules de colonne uniforme et axisymétrique.
MULTI-COLUMN ELECTRON BEAM PHOTOLITHOGRAPHY SYSTEM
SYSTÈME DE PHOTOLITHOGRAPHIE PAR FAISCEAU ÉLECTRONIQUE MULTICOLONNE
a multi-column electron beam exposure apparatus produced at low cost and capable of exposing chips on a wafer parallel at a time
un appareil d'exposition à un faisceau électronique multicolonnes produit à bas coût et capable d'exposer en même temps des puces sur une tranche parallèle
the multi-column electron beam lithography system comprises a plurality of columns, each of which includes a mask that has a plurality of aperture patterns
le système multi-colonne de lithographie par faisceau d'électrons comporte une pluralité de colonnes, dont chacune comprend un masque doté d'une pluralité de motifs d'ouvertures
MULTI-COLUMN ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE
DISPOSITIF D'EXPOSITION À FAISCEAU ÉLECTRONIQUE À MULTIPLES COLONNES
MULTI-BEAM MULTI-COLUMN ELECTRON BEAM INSPECTION SYSTEM
SYSTEME D'INSPECTION A FAISCEAUX D'ELECTRONS A PLUSIEURS COLONNES ET FAISCEAUX
MULTI-COLUMN ELECTRON BEAM INSPECTION THAT USES CUSTOM PRINTING METHODS
INSPECTION PAR FAISCEAU D'ÉLECTRONS MULTI-COLONNES QUI UTILISE DES PROCÉDÉS D'IMPRESSION PERSONNALISÉS
MULTI-COLUMN ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY SYSTEM AND ELECTRON BEAM ORBIT ADJUSTING METHOD THEREOF
SYSTÈME MULTI-COLONNE DE LITHOGRAPHIE PAR FAISCEAU D'ÉLECTRONS ET SON PROCÉDÉ DE RÉGLAGE D'ORBITE DU FAISCEAU D'ÉLECTRONS
[PROBLEMS] To provide a multi-column electron beam exposure device and a multi-column electron beam exposure method which can improve the exposure accuracy and adjust the calibration time so as to improve the exposure throughput.
L'invention concerne un dispositif d'exposition à faisceau électronique à colonnes multiples et un procédé d'exposition à faisceau électronique à colonnes multiples qui peut améliorer la précision d'exposition et régler le temps d'étalonnage afin d'améliorer le rendement d'exposition.
[PROBLEMS] to provide a multi-column electron beam exposure device capable of performing accurate exposure by eliminating fluctuation of exposure electron beam in each column cell. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] a multi-column electron beam exposure device includes
un dispositif d'exposition à faisceau électronique à multiples colonnes capable de réaliser une exposition précise en supprimant toute fluctuation de faisceau électronique d'exposition dans chaque cellule de colonne. elle concerne un dispositif d'exposition à faisceau électronique à multiples colonnes comprenant
An electron optics assembly for a multi-column electron beam inspection tool comprises a single accelerator structure and a single focus electrode mounting plate for all columns; the other electron optical components are one per column and are independently alignable.
L'invention concerne un ensemble optique électronique pour instrument d'inspection multicolonne à faisceau électronique, qui comprend une structure d'accélération unique et une plaque de montage d'électrode à mise au point unique pour toutes les colonnes.
Synoniemen voor multi-column electron in het Engels
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