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a method of fabricating the micro-machined multi-sensor includes depositing a layer of sacrificial material or structural material onto the substrate surface
l'invention concerne un procédé de fabrication du multi-capteur qui consiste notamment à déposer une couche de matériau sacrificiel ou de matériau structurel sur la surface du substrat
the multi-sensor includes a plurality of accelerometers, each including a mass anchored to and suspended over a substrate by a plurality of flexures
le capteur à plusieurs fonctions comprend une pluralité d'accéléromètres comprenant chacun une masse ancrée à un substrat et suspendue au-dessus d'un substrat par une pluralité de courbures
in the event the multi-sensor includes at least one functional component whose alignment on the substrate is critical to the optimal performance of the sensor, the critical component is defined so that its longitudinal axis is substantially parallel to the horizontal or vertical axis of the mask
dans le cas où le multi-capteur comporte au moins un composant fonctionnel dont l'alignement sur le substrat est critique pour la performance optimale du capteur, le composant critique est défini de façon que son axe longitudinal soit sensiblement parallèle à l'axe horizontal ou vertical du masque
the multi-sensor includes a fork member coupling the masses to allow relative antiphase movement, and to resist in phase movement, of the masses, and a drive electrode structure for rotationally vibrating the masses in antiphase
le capteur à plusieurs fonctions comprend un élément de fourche couplant les masses afin de permettre un mouvement antiphrase relatif et de résister au mouvement de phase des masses, et une structure d'électrode de commande destinée à faire vibrer de manière rotative les masses en antiphase
The multi-sensor includes a rigid accelerometer frame (330), a first proof mass (332) and a second proof mass (334).
Le multi-capteur comporte un châssis d'accéléromètre rigide, une première et une seconde masses épreuves.
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Synoniemen voor multi-sensor includes in het Engels