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one embodiment relates to a method of automatically inspecting multiple array regions simultaneously using an imaging apparatus
l'invention, selon un mode de réalisation, porte sur un procédé d'inspection automatique de multiples régions à réseau simultanément à l'aide d'un appareil d'imagerie
optimal pixel sizes within an available range of pixel sizes may be determined by finding a largest common divider of cell sizes of the multiple array regions when the cell sizes are expressed in integers
des dimensions de pixel optimales à l'intérieur d'une plage de dimensions de pixel disponible peuvent être déterminées par recherche du plus grand diviseur commun des dimensions de cellule des multiples régions de réseau lorsque les dimensions de cellule sont exprimées en nombres entiers
METHODS AND APPARATUS FOR SIMULTANEOUSLY INSPECTING MULTIPLE ARRAY REGIONS HAVING DIFFERENT PITCHES
there is provided a probe array comprising a substrate and, superimposed thereon, multiple array regions partitioned and having a multiplicity of probes immobilized thereon, wherein separators having division walls partitioning the multiple array regions are mounted on the substrate
la présente invention met à disposition une matrice de sondes comprenant un substrat et, superposées dessus, de multiples régions matricielles partitionnées et comportant une multiplicité de sondes y étant immobilisées, des séparateurs comportant des parois de division partitionnant les multiples régions matricielles étant montés sur le substrat
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