Vertaling van "multiple exposure process" in Frans
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procédé d'exposition multiple
multiple exposure process for formation of dense rectangular arrays
A method, program product and apparatus for model based geometry decomposition for use in a multiple exposure process
Procédé, produit de programme et appareil pour la décomposition géométrique à base de modèles destinée à être utilisée dans un procédé d'exposition multiple
The metrology target is defined in either the first or the second exposure of a multiple exposure process and whether or not it is temporary or made permanent is selected according to whether or not the area of the target is covered or cleared out in the other exposure.
La cible métrologique est définie soit à la première, soit à la seconde exposition d'un procédé d'exposition multiple, et on choisit si elle est temporaire ou permanente selon que la surface de la cible est couverte ou dégagée dans l'autre exposition.
The multiple exposure process can be a process involving repeated litho-etch steps desirably, the alignment scheme utilized during exposure of the split layers is optimized with reference to the splitting approach.
Le processus à plusieurs expositions peut être un processus impliquant de préférence des étapes de lithographie-gravure répétées, et le schéma d'alignement utilisé lors de l'exposition des couches divisées est optimisé en fonction de la démarche de division.
a method of evaluating process effects of multiple exposure photolithographic processes by first determining a set of expected images for each exposure step or process of the multiple exposure process individually (SET1
un procédé d'évaluation des effets de processus photolithographiques d'expositions multiples qui consiste d'abord à déterminer un ensemble d'images prévues à chaque étape d'expositions ou un processus d'expositions multiples de manière individuelle (SET1
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Synoniemen voor multiple exposure process in het Engels