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of a plasma processing device
Vertaling van "of a plasma processing device" in Frans
d'un dispositif de traitement au plasma
The present invention reduces the size or reduces the installation surface area of a plasma processing device.
La présente invention concerne la réduction de la taille ou de la superficie d'installation d'un dispositif de traitement au plasma.
Provided is a substrate support table of a plasma processing device, which stably controls a substrate at a relatively high temperature.
L'invention concerne une table de support de substrat pour un dispositif de traitement au plasma, laquelle permet de contrôler un substrat de façon stable à une température relativement élevée.
a plasma generation chamber of a plasma processing device is covered by a top board
une chambre de production de plasma d'un dispositif de traitement au plasma est recouverte d'un panneau supérieur
A dielectric window cleaning apparatus (100) may be used for cleaning a dielectric window (110) of a plasma processing device.
L'invention concerne un appareil de nettoyage de fenêtre diélectrique qui peut être utilisé pour nettoyer une fenêtre diélectrique d'un dispositif de traitement au plasma.
a method for detecting a seasoning end when performing seasoning by supplying a dummy wafer into a processing vessel of a plasma processing device includes a step of supplying a dummy wafer into the processing vessel
on place une tranche muette dans le récipient de traitement d'un dispositif de traitement par plasma. le procédé consiste à
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
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