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erreur de superposition
In some embodiments, the image-based measurement model enables the direct measurement of overlay error.
Selon certains modes de réalisation, le modèle de mesure à base d'image permet la mesure directe d'erreur de superposition.
An mark used in the determination of overlay error comprises sub-features (46), the sub-features having a smallest pitch approximately equal to the smallest pitch of the product features.
Un repère servant à déterminer une erreur de superposition comprend des éléments secondaires (46) dont le pas le plus petit est à peu près égal à celui des éléments de produit.
The employment of the virtual alignment mark substantially facilitates mitigation of overlay error.
L'utilisation de la marque d'alignement virtuelle dans l'alignement de plaquettes facilite sensiblement l'atténuation des erreurs de superposition.
A separation between the first layer and the second layer is such that the detected zeroth order scattered radiation is independent of overlay error between the first periodic structure and the second periodic structure.
Une séparation entre la première couche et la seconde couche est telle que le rayonnement diffusé d'ordre zéro détecté est indépendant d'une erreur de recouvrement entre la première structure périodique et la seconde structure périodique.
the employment of the composite set of scribe marks, such as to locate a corresponding virtual alignment mark (162, substantially facilitates mitigation of overlay error in wafer alignment.
l'utilisation de cette série composite de marques de découpe pour localiser une marque d'alignement virtuelle correspondante, par exemple, permet de faciliter sensiblement l'atténuation des erreurs de recouvrement lors de l'alignement de la plaquette.
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