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overlay error between
Vertaling van "overlay error between" in Frans
erreur de superposition entre
erreur de recouvrement entre
Disclosed are techniques, apparatus, and targets for determining overlay error between two layers of a sample.
L'invention concerne des techniques, un appareil et des cibles pour déterminer une erreur de superposition entre deux couches d'un échantillon.
An overlay error between two successive layers produced by a lithographic process on a substrate is determined by using the lithographic process to form at least one periodic structure of a same pitch on each of the layers.
Une erreur de superposition entre deux couches successives produites par un procédé lithographique sur un substrat est déterminée par utilisation du procédé lithographique afin de former au moins une structure périodique ayant le même pas sur chacune des couches.
a control component can be provided to correct overlay error between adjacent and non-adjacent layers, wherein the correction is based at least in part on measurements obtained by the measurement component.
un composant de mesure peut être utilisé pour corriger l'erreur de superposition entre des couches adjacentes et non adjacentes, cette correction étant basée au moins partiellement sur les mesures obtenues par le composant de mesure.
disclosed are overlay targets having flexible and symmetric characteristics and metrology techniques for measuring the overlay error between two or more successive layers of such targets
la présente invention concerne des cibles de superposition possédant des caractéristiques de symétrie souples et des techniques de métrologie permettant de mesurer l'erreur de superposition entre au moins deux couches successives de ces cibles
Any overlay error between the first structures and the second structures is then determined using a linear approximation based on the obtained spectra SA, SB, SC, and SD.
N'importe quelle erreur de superposition entre les première et deuxième structures est ainsi déterminée au moyen d'une approximation linéaire obtenue sur la base des spectres SA, SB, SC et SD.
and measure a second overlay error between the first process layer
et pour mesurer une seconde erreur de désalignement entre la première couche de traitement
A separation between the first layer and the second layer is such that the detected zeroth order scattered radiation is independent of overlay error between the first periodic structure and the second periodic structure.
Une séparation entre la première couche et la seconde couche est telle que le rayonnement diffusé d'ordre zéro détecté est indépendant d'une erreur de recouvrement entre la première structure périodique et la seconde structure périodique.
In one embodiment, a semiconductor target for detecting overlay error between two or more successive layers of a substrate or between two or more separately generated patterns on a single layer of a substrate is disclosed.
Dans un mode de réalisation, l'invention concerne une cible semi-conductrice permettant de détecter une erreur de recouvrement entre deux couches successives ou plus d'un substrat ou entre deux motifs générés séparément ou plus sur une seule couche d'un substrat.
the alignment mark is used to determine the overlay error between layers of a semiconductor wafer while minimizing measurement inaccuracies caused by semiconductor manufacturing processes
la marque d'alignement est utilisée pour déterminer l'erreur de recouvrement entre les couches d'une tranche de semi-conducteur et minimiser en même temps les erreurs de précision de mesure imputables aux procédés de fabrication des semi-conducteurs
Synoniemen voor overlay error between in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
Resultaten: 9. Exact: 9. Verstreken tijd: 35 ms.
