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pattern size reducing agent
Vertaling van "pattern size reducing agent" in Frans
agent réducteur de taille de motif
After this, the unhardened portion of the resist pattern size reducing agent is rinsed and removed with the pure water.
Après cela, la partie non durcie de l'agent réducteur de taille de motif de réserve est rincée et retirée avec l'eau pure.
Next, the pure water of the wafer is fed with a water-soluble resist pattern size reducing agent.
Ensuite, un agent réducteur de taille de motif de réserve soluble dans l'eau est injecté dans l'eau pure de la galette.
After this, the wafer is rotated at a high speed to spread the resist pattern size reducing agent all over the surface of the wafer.
Après cela, la galette est mise en rotation à grande vitesse pour étaler l'agent réducteur de taille de motif de réserve sur toute la surface de la galette.
After this, a heating is performed to modify the lower layer portion of the resist pattern size reducing agent near the surface of the resist pattern, into a state insoluble to water, thereby to harden that portion.
Après cela, on chauffe pour modifier la partie couche inférieure de l'agent réducteur de taille de motif de réserve près de la surface du motif de réserve, pour la rendre insoluble dans l'eau, et ainsi durcir cette partie.
In the RELACS technique, the quantity of the resist pattern size reducing agent to be used is reduced to homogenize the pattern sizes in the wafer face.
Dans la technique RELACS, la quantité de l'agent réducteur de taille de motif de réserve à utiliser est réduite pour homogénéiser les tailles de motif sur la face de la galette.
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