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patterning device support
Vertaling van "patterning device support" in Frans
support de dispositif de formation de motif
METHOD FOR A PATTERNING DEVICE SUPPORT
PROCÉDÉ POUR UN SUPPORT DE DISPOSITIF DE MODÉLISATION
PATTERNING DEVICE SUPPORT AND LITHOGRAPHIC APPARATUS
SUPPORT DE DISPOSITIF DE STRUCTURATION FONCTIONNELLE ET APPAREIL LITHOGRAPHIQUE
A patterning device support (1100) for controlling a temperature of a patterning device (1102) can include a movable component (1104).
L'invention porte sur un support de dispositif de formation de motif (1100) pour le réglage d'une température d'un dispositif de formation de motif (1102), pouvant comprendre un composant mobile (1104).
The patterning device support can also include a gas flow generator (1118) coupled to a duct (1114, 1116) for recirculating the gas flow from the gas outlet to the gas inlet.
Le support de dispositif de formation de motif peut également comprendre un générateur de flux de gaz (1118) couplé à un conduit (1114, 1116) pour le recyclage du flux de gaz de la sortie de gaz vers l'entrée de gaz.
PATTERNING DEVICE SUPPORT, LITHOGRAPHIC APPARATUS, AND METHOD OF CONTROLLING PATTERNING DEVICE TEMPERATURE
SUPPORT DE DISPOSITIF DE FORMATION DE MOTIF, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET PROCÉDÉ DE RÉGLAGE DE TEMPÉRATURE DE DISPOSITIF DE FORMATION DE MOTIF
Synoniemen voor patterning device support in het Engels
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Afbeelding van de dag
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