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phase-shifting point diffraction
Examples with "phase-shifting point diffraction" and their translation in Frans
in situ alignment system for phase-shifting point diffraction interferometry
système d'alignement in situ pour l'interférométrie à diffraction du point de déphasage
a device and method to facilitate the gross alignment of patterned object-and image-plane masks in optical systems such as the phase-shifting point diffraction interferometer are provided
on décrit un dispositif et un procédé qui permettent d'effectuer l'alignement global de masques structurés pour plan objet et image dans des systèmes optiques tels que l'interféromètre à diffraction du point de déphasage
A phase-shifting point diffraction interferometer system (PS/PDI) employing a PS/PDI mask that includes a PDI focus aid is provided.
Cette invention se rapporte à un système d'interféromètre à diffraction de point de déphasage (PS/PDI) utilisant un masque PS/PDI contenant une aide à la mise au point PDI.
Andere resultaten
apparatus and method for in situ and ex situ measurement of spatial impulse response of an optical system using phase-shifting point-diffraction interferometry
appareil et procédé de mesure in situ et ex situ de la réponse spatiale à une impulsion d'un système optique à interféromètre à diffraction ponctuelle et déphasage
in general, the interferometric profile measurements employ phase-shifting point-diffraction interferometry to generate a topographical interference signal and the non-interferometric measurements are based on flare related signals other than topographic interference signals
en général, les mesures de profils interférométriques utilisent l'interférométrie à diffraction ponctuelle et à décalage de phase pour générer un signal d'interférence topographique et les mesures non interférométriques sont basées sur des signaux associés à la lumière diffuse autres que des signaux d'interférence topographique
APPARATUS AND METHOD FOR IN SITU AND EX SITU MEASUREMENT OF SPATIAL IMPULSE RESPONSE OF AN OPTICAL SYSTEM USING PHASE-SHIFTING POINT-DIFFRACTION INTERFEROMETRY
APPAREIL ET PROCEDE DE MESURE IN SITU ET EX SITU DE LA REPONSE SPATIALE A UNE IMPULSION D'UN SYSTEME OPTIQUE A INTERFEROMETRE A DIFFRACTION PONCTUELLE ET DEPHASAGE
Disclosed is a point diffraction interferometer for analyzing the surface profile of an object in a predetermined shape.
L'invention concerne un interféromètre à diffraction de points, utilisé pour analyser la surface d'un objet de forme prédéterminée.
point diffraction interferometer using inclined-section optical fiber light source and its measuring method
interféromètre à diffraction de points utilisant une source lumineuse à fibre optique à section inclinée, et procédé de mesure correspondant
method and device for measuring point diffraction interference
procédé et dispositif d'interférométrie à diffraction ponctuelle
method and system for measuring profile of large-area using point diffraction light source based on multilateration
procédé et système de mesure du profil d'une zone étendue au moyen d'une source de lumière à diffraction ponctuelle, basée sur la multilatération
use, for example, for the optical measurement of microlithography projection objectives of high numerical aperture by means of wavefront detection using shearing or point diffraction interferometry or a moiré measuring technique.
l'invention peut être appliquée, par exemple, dans la mesure optique d'objectifs de projection microlithographique à grande ouverture numérique par détection de front d'onde, utilisant l'interférométrie de cisaillement ou de diffraction par point ou une technique de mesure de moiré.
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