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point-diffraction interferometry
Examples with "point-diffraction interferometry" and their translation in Frans
apparatus and method for in situ and ex situ measurement of spatial impulse response of an optical system using phase-shifting point-diffraction interferometry
appareil et procédé de mesure in situ et ex situ de la réponse spatiale à une impulsion d'un système optique à interféromètre à diffraction ponctuelle et déphasage
in general, the interferometric profile measurements employ phase-shifting point-diffraction interferometry to generate a topographical interference signal and the non-interferometric measurements are based on flare related signals other than topographic interference signals
en général, les mesures de profils interférométriques utilisent l'interférométrie à diffraction ponctuelle et à décalage de phase pour générer un signal d'interférence topographique et les mesures non interférométriques sont basées sur des signaux associés à la lumière diffuse autres que des signaux d'interférence topographique
APPARATUS AND METHOD FOR IN SITU AND EX SITU MEASUREMENT OF SPATIAL IMPULSE RESPONSE OF AN OPTICAL SYSTEM USING PHASE-SHIFTING POINT-DIFFRACTION INTERFEROMETRY
APPAREIL ET PROCEDE DE MESURE IN SITU ET EX SITU DE LA REPONSE SPATIALE A UNE IMPULSION D'UN SYSTEME OPTIQUE A INTERFEROMETRE A DIFFRACTION PONCTUELLE ET DEPHASAGE
Andere resultaten
in situ alignment system for phase-shifting point diffraction interferometry
système d'alignement in situ pour l'interférométrie à diffraction du point de déphasage
use, for example, for the optical measurement of microlithography projection objectives of high numerical aperture by means of wavefront detection using shearing or point diffraction interferometry or a moiré measuring technique.
l'invention peut être appliquée, par exemple, dans la mesure optique d'objectifs de projection microlithographique à grande ouverture numérique par détection de front d'onde, utilisant l'interférométrie de cisaillement ou de diffraction par point ou une technique de mesure de moiré.
Synoniemen voor point-diffraction interferometry in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
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