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In some cases, the set of process parameter values may be selected to collectively minimize the number critical dimension and overlay variation errors produced within an image fabricated from the lithography process.
Dans certains cas, l'ensemble de valeurs de paramètres de traitement peut être sélectionné pour minimiser collectivement la dimension critique et les erreurs de variations de superposition que l'on trouve dans une image fabriquée à partir d'un procédé lithographique.
a method provides estimations of physical interconnect process parameter values in a process for manufacturing integrated circuits
un procédé fournissant des estimations de valeurs de paramètres de traitement d'interconnexions physiques dans un procédé fabrication de circuits intégrés
The measurement models receive measurement data directly as input and provide process parameter values, structure parameter values, or both, as output.
Les modèles de mesure reçoivent des données de mesure directement en entrée et fournissent des valeurs de paramètre de traitement, des valeurs de paramètre de structure ou les deux en sortie.
Systems employing integrated measurement models may be used to measure structural and material characteristics of one or more targets and may also be used to measure process parameter values.
Des systèmes utilisant des modèles de mesure intégrés peuvent être utilisés pour mesurer des caractéristiques structurelles et matérielles d'une ou plusieurs cibles et peuvent aussi être utilisés pour mesurer des valeurs de paramètre de processus.
The trained measurement model is used to calculate process parameter values, structure parameter values, or both, directly from measured data collected from other wafers.
Le modèle de mesure appris est utilisé pour calculer des valeurs de paramètre de traitement, des valeurs de paramètre de structure, ou les deux, directement à partir de données mesurées collectées à partir d'autres tranches.
In addition or alternatively, the computer-implemented method and carrier medium may be adapted to generate a set of process parameter values for a lithography process based upon both critical dimension and overlay effect analyses of process parameter value variations.
Par ailleurs ou selon une variante, le procédé et le support peuvent être conçus pour générer un ensemble de valeurs de paramètres de traitement pour un procédé lithographique d'après la dimension critique et les analyses d'effet de superposition des variations de valeurs de paramètres de traitement.
For each process parameter in the plurality of process parameters, process simulation data from a process simulation are held in the process simulation database for an initial number of different process parameter values.
Pour chaque paramètre du processus de la pluralité de paramètres de processus, il existe pour un nombre initial de valeurs différentes des paramètres de processus des données de simulation de processus d'une simulation de processus dans la base de données de simulation de processus.
by coordinated quantity measuring of the transport of liquid and by sensing of said sensors the process parameter values are established for control of the process
par mesure quantitative coordonnée du transport du liquide et par l'action de détection des capteurs, les valeurs des paramètres du traitement sont établies pour permettre la commande du processus
the first delay path is faster than the second delay path when the difference in the respective process parameter values of the first area and the second area is smaller than a predefined threshold
le premier trajet de retard est plus rapide que le second trajet de retard lorsque la différence entre les valeurs de paramètres de processus respectives de la première zone et de la seconde zone est inférieure à un seuil prédéfini
The "Full Track and Trace" platform allows users to view, for our Valladolid plant in Spain, all the serial numbers of our engine parts, their manufacturing journeys, and the associated process parameter values.
La plateforme « Full Track and Trace » permet de visualiser, pour notre usine de Valladolid en Espagne, tous les numéros de série des pièces de nos moteurs, leurs parcours de fabrication, les valeurs des paramètres process associés.
Digital processing methods and apparatus for monitoring, controlling, and simulating industrial processes operate on data signals representative of process parameter values and generate response values representative of desired or requested process parameter values.
Ces procédés et appareils fonctionnent sur la base de signaux de données représentatifs de valeurs paramétriques du procédé et génèrent des valeurs de réponses représentatives des valeurs paramétriques du procédé désirées ou requises.
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Synoniemen voor process parameter values in het Engels