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processing multiple substrates
Vertaling van "processing multiple substrates" in Frans
traiter plusieurs substrats
traiter de multiples substrats
This disclosure provides systems, methods and apparatus for processing multiple substrates in a batch cluster tool.
L'invention concerne des systèmes, des procédés et un appareil pour traiter plusieurs substrats dans un outil de traitement par lots.
In an embodiment, the present invention discloses a stackable substrate carrier for scalably storing, transporting or processing multiple substrates.
Dans un mode de réalisation, la présente invention concerne un porte-substrat empilable permettant de stocker de manière évolutive, de transporter ou de traiter plusieurs substrats.
A substrate processing system for processing multiple substrates is provided and generally includes at least one substrate processing platform and at least one substrate staging platform.
La présente invention concerne un système de traitement de substrat permettant de traiter de multiples substrats et comprenant généralement au moins une plateforme de traitement de substrat et au moins une plateforme d'étagement de substrat.
A substrate processing chamber and methods for processing multiple substrates is provided and generally includes an inductively coupled pie-shaped plasma source positioned so that a substrate rotating on a platen will pass through a plasma region adjacent the plasma source.
Chambre de traitement de substrat et procédés de traitement de multiples substrats comprenant de manière générale une source de plasma en forme de tarte à couplage inductif positionnée de sorte qu'un substrat tournant sur un plateau traverse une région de plasma adjacente à la source de plasma.
disclosed is a substrate processing apparatus which comprises reaction tubes for processing multiple substrates, a heater for heating the substrates, and gas introducing nozzles for supplying a gas into the reaction tubes
la présente invention a trait à un appareil de traitement de substrat comportant des tubes réaction pour le traitement de plusieurs substrats, un élément de chauffe pour réchauffer les substrats, et des buses d'alimentation en gaz pour fournir u gaz dans les tubes de réaction
A method and apparatus for processing multiple substrates simultaneously is provided.
L'invention concerne un procédé et un appareil destinés à traiter simultanément de multiples substrats.
The present invention generally relates to a vertical CVD system having a processing chamber that is capable of processing multiple substrates.
La présente invention se rapporte de manière générale à un système de dépôt en phase vapeur vertical qui présente une chambre de traitement qui est capable de traiter de multiples substrats.
WIDE AREA RADIO FREQUENCY PLASMA APPARATUS FOR PROCESSING MULTIPLE SUBSTRATES
APPAREIL À PLASMA À FRÉQUENCE RADIO À AIRE LARGE POUR TRAITER DES SUBSTRATS MULTIPLES
WIDE AREA RADIO FREQUENCY PLASMA APPARATUS FOR PROCESSING MULTIPLE SUBSTRATES
APPAREIL À PLASMA À FRÉQUENCE RADIO À AIRE LARGE POUR TRAITER DES SUBSTRATS MULTIPLES
Synoniemen voor processing multiple substrates in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
Resultaten: 9. Exact: 9. Verstreken tijd: 309 ms.
