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points de connexion RF
The second through fifth RF connection points are geometrically arranged as four successive vertices of a quadrilateral convex polygon.
Les deuxième à cinquième points de connexion RF sont agencés géométriquement sous la forme de quatre sommets successifs d'un polygone convexe quadrilatère.
First through fifth RF power signals are respectively coupled to first through fifth RF connection points on an electrode of a plasma chamber.
Selon la présente invention, des premier à cinquième signaux de puissance RF sont respectivement couplés à des premier à cinquième points de connexion RF sur une électrode d'une chambre à plasma.
An alternative embodiment omits the third and fifth RF power signals and the third and fifth RF connection points.
Dans une variante du mode de réalisation de l'invention, les troisième et cinquième signaux de puissance RF et les troisième et cinquième points de connexion RF sont omis.
RF power is coupled with different phase offsets to different RF connection points on an electrode of a plasma chamber
une puissance RF est couplée avec des décalages de phases différents à divers points de connexion RF sur une électrode d'une chambre à plasma
A plurality of RF power signals have the same RF frequency as a reference RF signal and are coupled to respective RF connection points on an electrode of a plasma chamber.
Selon l'invention, plusieurs signaux de puissance RF ont la même fréquence RF qu'un signal RF de référence et sont couplés à des points de connexion RF respectifs sur l'électrode d'une chambre à plasma.
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