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a method and apparatus having a RF return path with low impedance coupling a substrate support to a chamber wall in a plasma processing system is provided
la présente invention concerne un procédé et un appareil comportant un chemin de retour RF présentant une faible impédance reliant un support de substrat à une paroi de chambre dans un système de traitement par plasma
in this way, the present invention can provide an RF return path for legacy terminals that shares a return path for regular data packets in an optical network architecture
ainsi, cette invention peut offrir un trajet de retour RF pour des terminaux classiques qui partagent un trajet de retour pour des paquets de données ordinaires dans une architecture de réseau optique
In large area, parallel plate RF processing chambers, mastering the RF return path can be challenging.
Dans les chambres de traitement par radiofréquence à plaques parallèles de grande surface, il peut être difficile de contrôler la voie de retour RF.
A radio frequency (RF) ground return arrangement for providing a low impedance RF return path for a RF current within a processing chamber of a plasma processing chamber during processing of a substrate is provided.
Cette invention concerne un agencement de retour par la terre pour radiofréquence (RF) conçu pour fournir un chemin de retour RF à faible impédance à un courant RF dans une chambre de traitement d'une chambre de traitement par plasma lors du traitement d'un substrat.
TUNABLE RF RETURN PATH FILTER WITH AUTOMATIC CHANNEL PLAN DETECTION
FILTRE RF ACCORDABLE POUR VOIE DE RETOUR, AVEC DÉTECTION AUTOMATIQUE DE PLAN DE VOIES
POWERLINE CARRIER "ZERO-CROSSING" TRANSFORMER MAPPING WITH ASYMMETRIC RF RETURN PATH
MAPPAGE DE TRANSFORMATEURS À « PASSAGE PAR ZÉRO » DE PORTEUSE DE LIGNE ÉLECTRIQUE DOTÉ D'UN TRAJET DE RETOUR RF ASYMÉTRIQUE
PLASMA PROCESSING USING RF RETURN PATH VARIABLE IMPEDANCE CONTROLLER WITH TWO-DIMENSIONAL TUNING SPACE
TRAITEMENT PAR PLASMA UTILISANT UNE COMMANDE À IMPÉDANCE VARIABLE D'UN TRAJET DE RETOUR RF AVEC ESPACE D'ACCORD BIDIMENSIONNEL
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