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Methods are disclosed for depositing a template for directed self-assembly of a self-assemblable block polymer on a surface of a substrate.
La présente invention se rapporte à des procédés qui permettent de déposer un gabarit pour l'autoassemblage dirigé d'un polymère à blocs auto-assemblable sur une surface d'un substrat.
A method is disclosed to form a patterned template on a substrate, to direct orientation of a self-assemblable block copolymer.
L'invention porte sur un procédé pour former une matrice à motif sur un substrat, pour diriger l'orientation d'un copolymère séquencé pouvant s'auto-assembler.
A self-assemblable block copolymer is deposited and ordered in the trench for use as a further resist for patterning the substrate along the slot.
Un copolymère bloc auto-assemblable est déposé et ordonné dans la tranchée pour être utilisé en tant qu'autre réserve afin de former des motifs sur le substrat le long de la fente.
Exposed or unexposed resist is removed with remaining resist portions providing the basis for a patterned epitaxy template for the orientation of the self-assemblable block copolymer as a hexagonal or square array.
La réserve, exposée ou non, est retirée avec les parties de réserve restantes, ce qui fournit la base d'un modèle d'épitaxie à motifs, destiné à l'orientation du copolymère en blocs pouvant s'assembler automatiquement, sous forme de réseau hexagonal ou carré.
The method involves providing a layer of the self-assemblable block copolymer on the substrate and depositing a first surfactant onto the external surface of the layer prior to inducing self-assembly of the layer to form the ordered array of domains.
Le procédé consiste à fournir une couche de copolymère séquencé auto-assemblable sur le substrat et à déposer un premier agent tensio-actif sur la surface externe de la couche avant de déclencher l'auto-assemblage de la couche pour former l'ensemble ordonné de domaines.
METHODS OF PROVIDING PATTERNED CHEMICAL EPITAXY TEMPLATES FOR SELF-ASSEMBLABLE BLOCK COPOLYMERS FOR USE IN DEVICE LITHOGRAPHY
PROCÉDÉS D'OBTENTION DE GABARITS POUR ÉPITAXIE CHIMIQUE À MOTIF POUR L'AUTO-ASSEMBLAGE DE COPOLYMÈRES SÉQUENCÉS POUR UNE UTILISATION EN LITHOGRAPHIE DE DISPOSITIF
METHODS OF PROVIDING PATTERNED EPITAXY TEMPLATES FOR SELF-ASSEMBLABLE BLOCK COPOLYMERS FOR USE IN DEVICE LITHOGRAPHY
PROCÉDÉS DE FOURNITURE DE MODÈLES D'ÉPITAXIE À MOTIFS DESTINÉS À DES COPOLYMÈRES EN BLOCS POUVANT S'ASSEMBLER AUTOMATIQUEMENT, À UTILISER DANS LA LITHOGRAPHIE DE DISPOSITIF
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Synoniemen voor self-assemblable block in het Engels