We konden deze vermelding niet vinden. Er worden benaderende resultaten weergegeven. Controleer je spelling of stel voor deze term aan het woordenboek toe te voegen.
Treatment of a layer comprising self-assemblable polymer at a surface of a substrate is disclosed.
L'invention concerne le traitement d'une couche comprenant un polymère pouvant s'auto-assembler au niveau de la surface d'un substrat.
The resulting template may be used to direct self- assembly of a suitable self-assemblable polymer and the resulting aligned and oriented self-assembled polymer may itself be used as a resist for lithography of the substrate.
Le gabarit ainsi obtenu peut servir à diriger l'autoassemblage d'un polymère auto-assemblable approprié, et le polymère auto-assemblé aligné et orienté qui est obtenu peut lui-même faire office de réserve pour la lithographie du substrat.
A method is disclosed involving depositing a neutral orientation template layer onto a substrate after formation of chemical epitaxy or graphoepitaxy features on the substrate, but before deposition and orientation of a self-assemblable polymer.
La présente invention a pour objet un procédé impliquant le dépôt d'une couche de gabarit d'orientation neutre sur un substrat après formation de caractères d'épitaxie ou de graphoépitaxie chimique sur le substrat, mais avant dépôt et orientation d'un polymère auto-assemblable.
SELF-ASSEMBLABLE POLYMER AND METHODS FOR USE IN LITHOGRAPHY
Er worden alleen voorbeelden gegeven om u te helpen het woord of de woordcombinatie waarop u hebt gezocht, te vertalen. Deze worden niet door ons geselecteerd of gevalideerd en kunnen ongepaste taal bevatten. Wij vragen u melding te maken van voorbeelden die dienen te worden aangepast of verwijderd. Vertalingen met grof of informeel taalgebruik worden meestal rood of oranje gemarkeerd.
Er zijn geen resultaten gevonden voor deze term.
Synoniemen voor self-assemblable polymer in het Engels