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soft etch
Vertaling van "soft etch" in Frans
d'attaque douce
gravure molle
cluster tool soft etch module and ecr plasma generator therefor
module d'attaque douce pour outil multiposte et générateur de plasma à résonance cyclotronique d'électrons pour ledit module
method for etch rate enhancement by background oxygen control in a soft etch system
procédé d'amélioration de la vitesse d'attaque par contrôle d'oxygène de fond dans un système d'attaque douce
invention is etching substrate containing oxide layer to reduce activated oxygen within plasma and maintain high soft etch rate in series of subsequent etches
un substrat d'attaque renfermant une couche d'oxyde pour réduire l'oxygène activé dans le plasma et maintenir une vitesse d'attaque douce élevée dans une série d'attaques ultérieures
the gate electrode is suicided with a metal subsequent to conducting the soft etch.
l'électrode de grille est recouverte de siliciure avec un métal une fois la gravure molle effectuée.
A soft etch (725) is conducted subsequent to the plasma etch.
Une gravure molle (725) est menée à bien une fois la gravure au plasma effectuée.
the soft etch includes an inorganic-based fluorine containing gas and an inert gas, wherein the plasma etch leaves a film on the gate electrode that inhibits silicidation of the gate electrode and wherein the soft etch removes the film
la gravure molle comprend un gaz renfermant du fluor à base inorganique et un gaz inerte tandis que la gravure au plasma laisse un film sur l'électrode de grille, qui empêche la siliciurisation de l'électrode de grille, et tandis que la gravure molle élimine le film
Synoniemen voor soft etch in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
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