The second trench stops in the SOI substrate.
The mechanical elements are etched in the superficiallayer of a SOI substrate.
Les structures mécaniques sont gravées dans la couche de silicium superficielle d'un substrat SOI.
soi substrate and process for preparing the same, and semiconductor device and process for preparing the same
An SOI substrate comprising a supporting substrate, a buried insulation layer, and an SOI layer of semiconductor laid in this order is provided.
L'invention concerne un substrat silicium sur isolant comportant un support, une couche isolante noyée et une couche de silicium sur isolant de semi-conducteur, ces éléments étant placés dans cet ordre.
An SOI substrate is covered with an etching mask defining three separate semiconductor patterns.
Un substrat de type SOI est recouvert par un masque de gravure définissant trois motifs semi-conducteurs distincts.
optical interconnection system in a microelectronic circuit produced on a soi substrate
système d'interconnexion optique dans un circuit microélectronique réalisé sur un substrat soi
method of forming a guard ring or contact to an soi substrate
procédé de formation d'un anneau de garde ou d'un contact pour un substrat soi
microchip and soi substrate for manufacturing microchip
micropuce et substrat soi pour fabrication de micropuce
method for processing soi substrate
procédé de traitement d'un substrat soi
dopen region in an soi substrate
région dopée dans un substrat soi
the carrier mobility of a transistor using an SOI substrate is improved
d'améliorer la mobilité des porteurs d'un transistor en utilisant un substrat SOI
characterized in that the SOI substrate contains nitrogen and carbon
caractérisé en ce que le substrat SOI contient de l'azote et du carbone
Method of fabricating strained silicon on an SOI substrate
Procédé de fabrication de silicium contraint sur un substrat SOI