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transformables en solution
Desirable processing improvements can be obtained with the solution processible hardmasks.
Des améliorations de traitement souhaitables peuvent être obtenues avec les masques durs transformables en solution.
The solution processible metal oxide layers are generally placed under relatively thin etch resist layers to provide desired etch contrast with underlying substrates and/or antireflective properties.
Les couches d'oxyde métallique transformables en solution sont généralement placées sous des couches de réserve de gravure relativement fines pour donner le contraste de gravure souhaité avec des substrats sous-jacents et/ou des propriétés antireflets.
Solution processible hardmasks are described that can be formed from aqueous precursor solutions comprising polyoxometal clusters and anions, such as polyatomic anions.
La présente invention concerne des masques durs transformables en solution qui peuvent être formés à partir de solutions aqueuses de précurseurs comprenant des groupes et des anions polyoxométalliques, comme des anions polyatomiques.
The invention describes a method or methods to create, or extend a two-dimensional (two-dimensional) electronic delocalization of a deposited solution processible material by energetic and/or chemical means for use in electronic devices.
L'invention concerne un ou plusieurs procédés pour créer ou étendre une délocalisation électronique bidimensionnelle (bidimensionnelle) d'une matière déposée pouvant être mise en œuvre en solution par des moyens énergétiques et/ou chimiques en vue d'une utilisation dans des dispositifs électroniques.
SOLUTION PROCESSIBLE HARDMARKS FOR HIGH RESOLUSION LITHOGRAPHY
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Synoniemen voor solution processible in het Engels